PVD - 义守大学 电子工程学系.PDF

1/999 PVD 、、CVD製程製程簡介簡介 、、 製程製程簡介簡介 主講人主講人 ：光鋐科技：光鋐科技鄭偉蒲鄭偉蒲 主講人主講人 ：：光鋐科技光鋐科技鄭偉蒲鄭偉蒲 主講人主講人 ：光鋐科技：光鋐科技鄭偉蒲鄭偉蒲 主講人主講人 ：：光鋐科技光鋐科技鄭偉蒲鄭偉蒲 Epileds Otto Tang 光鋐科技 (台南科學園區) 成功大學材料及工程學系 mirocheng@.tw 光鋐科技(LED) .tw .tw Quality Assurance Nakamura Color Mixing: RGB LEDs 6/999 導論 .tw/ 7/999 Step Coverage CVD的的Step Coverage比比PVD要好要好 （很重要（很重要!!）） 的的 比比 要好要好 （（很重要很重要 ）） 8/999 Part I. PVD製程介紹Part I. PVD製程介紹 Part I. PVDPart I. PVD製程介紹製程介紹 鍍膜條件簡介鍍膜條件簡介 鍍膜條件簡介鍍膜條件簡介 PVD簡介PVD簡介 PVDPVD簡介簡介 熱蒸鍍熱蒸鍍-Thermal evaporator-Thermal evaporator 熱蒸鍍熱蒸鍍--Thermal evaporatorThermal evaporator 電子槍蒸鍍電子槍蒸鍍 -E-E--GunGun 電子槍蒸鍍電子槍蒸鍍 --EE--GunGun 雷射蒸鍍雷射蒸鍍 -Pulse Laser Deposition (PLD)-Pulse Laser Deposition (PLD) 雷射蒸鍍雷射蒸鍍 --Pulse Laser Deposition (PLD)Pulse Laser Deposition (PLD) 濺鍍濺鍍 -S-Sputterputter 濺鍍濺鍍 --SSputterputter 技術應用技術應用 技術應用技術應用 9/999 真空是什麼? 在一個空間內 ，如果其氣壓低於一個標準大氣 壓力 (atm)的氣體狀態 ，即稱為真空。任何一個 罐子 ，我們抽一些氣體出來，裡面的氣壓比外 面低 ，這時候我們就稱之為「真空」，因此 ， 真空是很容易得到的 。人類至今尚未在宇宙間 找到絕對真空的地方 ，科學家也沒有造出一個 壓力等於零的空間 。 Ref : 輔仁大學輔仁大學物理系物理系凌國基老師講義凌國基老師講義 輔仁大學輔仁大學物理系物理系凌國基老師講義凌國基老師講義