Solvix by AE 电弧和偏压电源系列阴极电弧沉积 - Advanced Energy.PDF

SOLVIX BY AE 电弧和偏压 电源系列 阴极电弧沉积，精 确的工艺控制和高品质的膜 • 0 - 400 A 直流和脉冲直流电弧电源 • 3 - 30 KW 直流和脉冲直流偏压 电源 用于阴极电弧沉积的 SOLVIX BY AE 直流和脉冲直流 电源 Solvix by AE 电弧偏压解决方案将阴极电弧工艺的精度和生产能力提升到一个新高度。高 能量的电弧放电、快速的靶材料蒸发和高能离子在提高阴极电弧沉积效果的同时也会造 成了潜在的不稳定。Solvix by AE 电弧电源输出电流最高可达 400安培，凭借其强大的功 率和工艺控制能力，提供出色的等离子电离、离子能量和生产能力。Solvix by AE 偏压电 源进一步加强了对膜性能的控制，打造出坚固、致密、耐用和附着牢固的薄膜。在功率转换 技术全球领先企业 — Advanced Energy 的支持下，Solvix by AE 具有性能强大、坚固 耐用和高性价比的特点，适用于您先进的阴极电弧制程。 利益 功率和工艺控制 受控的启动与高精度 ( 1%)可重复( 0.5%) 的功率输出能够实现稳定的工艺条件。脉冲功能 • 功率和工艺控制 增加了阴极电弧的受控程度，且得益于大电流（最高达 400 A），从而不影响膜沉积速率。 • 膜密度和附着性更佳 • 减少靶损坏 膜密度和附着性更佳 • 经久验证的可靠性 得益于高能离子，阴极电弧沉积通常可制备致密、耐用、均匀和附着力好的薄膜。尽管如此， • 全球支持网络 微粒子掺杂可能会干扰这一工艺。此外，离子可能对基底施加过大压力，造成膜应力和附着力 • 减少基底损坏，生产能力更高 问题。Solvix by AE 偏压电源可调节影响基底的离子能量，控制关键的膜性能，如注入、密度和 • 可适应各种工艺要求 附着力。 • 高生产能力 减少靶损坏 • 安装和维护效率高 阴极电弧产生的大量热能会破坏靶质量。脉冲功能通过在脉冲关断时冷却靶材从而延长靶寿 特征 命。同时，通过限制阴极电弧运动，可以抑制损害性阴极斑点的增长。 • 最佳的电弧处理 • 直流和脉冲直流电源 久经验证的可靠性 • 电弧电源：60、100、210 和 400 Solvix by AE 电弧偏压电源的特点在于先进的直流和脉冲直流技术。电源的流线型设计杜绝了 A 可能出现的故障点。Solvix by AE 电弧偏压电源的制造水平达到世界顶尖标准，获得了最为挑 • 偏压电源：3 - 30 kW 剔的 OEM 审核人员的最高评价。电源坚固耐用，经验证实际使用寿命超过 10 年。 • 电流、功率和电压调节模式 • 灵活多变的结构形式 • 风冷却 • 可并联叠加设备满足更大功率 要求 • 高性能 DSP 调压器 应用 • 功能性、装饰性和硬质 涂层的阴极电弧沉积 （TiN、TiCN、ALTiN、 ALCrSiN、TiB 、CrN 等） 2 2 全球支持网络 200 多位专业人员遍布全球，提供 24 小时 快速销售