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低压化学气相沉积MoSi涂层微观结构及氧化性能-哈尔滨工业大学学报
第20卷摇 第1期 材摇 料摇 科摇 学摇 与摇 工摇 艺 Vol.20 No.1
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20 12年2月 MATERIALS SCIENCE TECHNOLOGY Feb. ,2012
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低压化学气相沉积MoSi 涂层微观结构及氧化性能
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吴摇 恒 ,李贺军 ,王永杰 ,付前刚 ,魏建锋 ,王海鹏
(1.西北工业大学 凝固国家重点实验室,西安710072;2.西北工业大学 理学院,西安710072)
摘摇 要:为了防止Mo合金的高温氧化,本研究采用低压化学气相沉积技术在Mo合金表面制备MoSi 抗氧化
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涂层,借助X射线衍射仪、扫描电镜及能谱仪等分析手段,对涂层的微观结构进行了研究,测试了涂层的抗
氧化和抗热震性.结果表明:MoSi 涂层结构致密,仅有少量微裂纹存在,表现出良好的抗热震和抗氧化性能;
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经20 次1300 益 -室温循环热震实验后,涂层未出现开裂与脱落现象;涂层试样在1300 益氧化气氛下氧化
180 h,失重率小于0.83%,分析揭示了涂层试样氧化失重的主要原因为氧扩散通过涂层与Mo 基体发生反
应,生成极易挥发的MoO、MoO 、MoO ,氧在涂层中的扩散速率决定了涂层的失重速率.
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关键词:低压化学气相沉积法;MoSi 涂层;微观结构;抗氧化
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中图分类号:TG322 文献标志码:A 文章编号:1005-0299(2012)01-0026-05
Microstructures andoxidation resistance of MoSi coating prepared
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by low pressure chemical vapor deposition
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WU Heng ,LI He鄄jun ,WANG Yong鄄jie ,FU Qian鄄gang ,WEI Jian鄄feng ,WANG Hai鄄peng
(1.State Key Laboratory of Solidification Processing,Northwestern Polytechnical University,Xi爷an710072,China;
2.School of Science,Northwe
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