偏压参数对AISI304不锈钢电弧披覆CrTiAlN多层膜磨耗行为之影响.PDF

利用 CO 反應氣體對電弧沉積 Ti-C-O複合膜耐蝕性之影響 2 Effects of CO reactive gas on corrosion resistance of arc-deposited 2 Ti-C-O composite coatings 張紀宇 1* 1 2 陳世雄 許正勳 1 2 大同大學材料工程學系 研究生 大同大學材料工程學系 教授 摘要 基於減碳環保的考量，本研究主要是利用陰極電弧沉積(Cathodic arc deposotion)技術，並使用 CO2 反應氣體與 Ti 靶來沉積 Ti-C-O 複合膜於 AISI-304 不銹鋼基材上，其中利用改變 CO 流量以控 2 制工作壓力進行鍍膜，之後進一步分析各鍍膜特性(包括表面粗糙度、化學組成、附著性、硬度 等)以及進行 AISI-304 不銹鋼鍍膜前後之耐蝕試驗，以探討披覆各膜層對 304 不銹鋼基材耐蝕性 質之影響。由實驗結果顯示，此複合鍍膜為 TiO/DLC 混合結構之複合膜，經由披覆膜層後，其 耐蝕性、耐溼式沖蝕性均可獲得改善，其中又以 TiO/DLC(5mtorr)複合膜的表現最佳。 關鍵詞 ：陰極電弧沉積、CO2 、AISI-304 不銹鋼、Ti-C-O 複合膜、耐蝕性 Abstract Due to the consideration of carbon reduction to protect environment, in this study, the Ti-O-C composite coatings were synthesizes on AISI 304 stainless steel substrate by a cathodic arc deposition(CAD) system using CO2 reactive gas and Titanium (99.9%) target. Coating parameters were designed via the variation in the flow rate CO2 reactive gas to control the working pressure. Then the coating morphologies and properties such as roughness, chemical composition, adhesion and hardness were all analyzed. Moreover, polarization tests, immersion tests and wetting