利用非平衡磁控溅射设备在钢材表面蒸镀含铬碳氢类钻膜之方法.PDF

利用非平衡磁控溅射设备在钢材表面蒸镀含铬碳氢类钻膜之方法 分　类　号 证　书　号 类型 申请国家 申 请 日 专　利　期　限 C23C01402 107952 发明 中华民国 84/07/05 88/10/21～104/07/04 发　　明　　人 应　　用　　面 吴政道、陈瑜尧 辅动用之机械零件、切削刀具、工具 特　色　及　优　点 1.降低压缩内应力，增加镀膜与钢材之附着性； 2.降低磨损率及震动噪音； 3.适用耐腐蚀环境。 摘　　　　　要 本发明系有关于一种利用非平衡磁控溅射设备在钢材表面蒸镀含铬碳氢类钻膜之方法。其系先将 钢材置放于非平衡磁控溅射设备内，而后采逐步变换成份作法，致使分别于钢材上依序形成有铬 层、氮化铬、氮碳化铬及碳化铬等被覆中间层，以便降低非晶形含铬碳氢类钻膜之压缩内应力， 致使非晶形含铬碳氢类钻膜得以稳固蒸镀附着于钢材上。 申请专利范围 图　式　首　页 1.一种利用非平衡磁控溅射设备在钢材表面蒸镀含铬 碳氢类钻膜之方法，其依序为：步骤一：备置一非平 衡磁控溅射设备，该非平衡磁控溅射设备具有一容置 空间之箱体，一设于箱体上之压电阀及流量控制器， 一检测压电阀进入的气体之控制器，设于箱体内之铬 靶与基板，以及一可供应基板偏压之射频偏压控制器 等构件，而后将钢材置放于基板上；步骤二：经由流 量控制器将氩气喷入箱体之容置空间内，同时铬靶上 通以电流，以及射频偏压控制器针对基板施以电压， 使得氩气撞击铬靶分离出铬原子，且该铬原子附着于 钢材上而形成一铬层；步骤三：继续经由流量控制器 将氩气喷入，亦同时由压电阀处将氮气喷入容置空间 内，使得铬层上形成一层氮化铬；步骤四：氩气及氮 气再持续分别经由流量控制器、压电阀喷入容置空间 内，并且亦同时将乙炔(C2H2)喷入，使得氮化铬层上 形成一层氮碳化铬；步骤五：关闭氮气进入，使得氩 气及乙炔(C2H2)亦持续经由流量控制器、压电阀喷入 容置空间内，致使氮碳化铬层上得以形成一层碳化 铬；以及步骤六：氩气亦持续由流量控制器出喷入， 同时增加乙炔含量，使得碳化铬层上稳固蒸镀附着一 层非晶形含铬碳氢类钻膜者。