制备薄膜-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 热丝辅助 制备 薄膜 张生俊 , 陈光华 北 京工 业 大 学材 料 学院 新型 功 能材 料 教 育部重 点 实验 室 , 北 京 要 立方氮化硼 泛 应用价值 的 一 族二元化合物 , 其优异性质可 与 金 刚石相 比拟 或胜之 立 性能研 究是近二十年来材料领域关注 的焦 点之一 我们用热丝辅助 方法制备 了 薄膜, 并初步探讨 了热丝对 形成 的作用 偏 , 压并不是 。 形成 的唯一主要条件 活性粒子也有非常关键 的作用 关 键 词 热丝 中图分类号 文献标识码 引言 氮 化硼 有 四种相 态 , , , , 其 中 因其仅 次 于金 刚石 的硬度 、 高 的热 导 、 、 化 温 、 温 学稳 、 不 元 反 应 、 到 率 宽的带 隙 抗氧 度 高 高 化 定性好 与铁族 素 由紫外 红 外 宽 的光 学透过 范 围 、 型及 型 的可掺杂性能等优异特性 , 在 刀 具涂层 、 光 学 窗 口 、 高 、 温 沉 面 很 的 用 , 一 到 泛 注 此 , 电子器件 热 材料等方 有 大 应 潜力 多年来 直受 广 关 外 薄 膜可具有 负 电子 亲和 势 , 是很好 的场 发射材料 , 在平板 显示 器 件方面 也 有很 大应用潜力 五