化学气相沉积碳化硅平面反射镜的高精度超光滑加工.PDF

化学气相沉积碳化硅平面反射镜的高精度超光滑加工———康念辉 李圣怡 郑子文等 暋 暋 化学气相沉积碳化硅 平面反射镜的高精度超光滑加工 康念辉 李圣怡 郑子文 戴一帆 暋 暋 暋 , , 国防科学技术大学 长沙 410073 : , “ 摘要 针对化学气相沉积碳化硅平面反射镜的材料特性与技术要求 制定了 传统研抛 离子束抛 + 暠 , 。 光 的工艺方法 并在一块口径为100mm的试件上进行了验证 首先基于加工效率和亚表面损伤选择 , , 合理的工艺参数 并采用磁流变抛光斑点法测量各道工序的亚表面损伤 并以此为依据规划下一道工序 ; , , 的材料去除量 然后分析抛光表面粗糙度的影响因素 在此基础上对抛光工艺参数进行优化 获得表面 , ; 粗糙度均方根方差值为0灡584nm的超光滑表面 并控制工件的面形误差 最后采用离子束抛光进行精 , , ( 度提升 使工件的低频和中频误差均大幅下降 最终工件的面形精度均方根方差值达到 0灡007毸毸= ), 。 632灡8nm 表面粗糙度均方根方差值为0灡659nm : ; ; ; 关键词 化学气相沉积碳化硅 超光滑 亚表面损伤 离子束抛光 中图分类号: 文章编号: — ( ) — — TH16暋暋暋 1004 132X200901 0069 05 Hih- recisionandSuer-smoothFabricationofCVDSiCFlatReflectin Mirror g p p g Kan Nianhui暋LiShen i暋Zhen Ziwen暋DaiYifan g gy g , , NationalUniversitofDefenseTechnolo Chansha410073 y gy g : AbstractAccordin tothematerialcharacteristicsandtechnicalreuirementsofCVDSiCflatre灢 g q , “ 暠 “ 暠 flectin