化学气相沉积制备大面积高质量石墨烯的研究进展-材料导报.PDF

· · 材料导报 ：综述篇 年 月（）第 卷第 期 １３６ Ａ ２０１７ ２ Ａ ３１ ２ 　 　 化学气相沉积制备大面积高质量石墨烯的研究进展 石晓东，王 伟，尹 强，李春静 　 　 （河北工业大学电子信息工程学院，天津市电子材料与器件重点实验室，天津 ） ３００４０１ 摘要　　石墨烯是由单层碳原子紧密堆积形成的一种碳质新材料，具有优良的电学、光学、热学及力学等性质。在众多的石墨 烯制备方法中，化学气相沉积（ ， ）最有可能实现大面积、高质量石墨烯的可控制备。综述了 方 Ｃｈｅｍｉｃａｌｖａｏｒｄｅｏｓｉｔｉｏｎ ＣＶＤ ＣＶＤ ｐ ｐ 法制备大面积、高质量石墨烯的影响因素，包括衬底、碳源及生长条件（气体流量、生长温度、等离子体功率、生长压强、沉积时间、冷 却速率等）。最后展望了ＣＶＤ方法制备石墨烯的发展方向。 关键词 石墨烯 化学气相沉积 衬底 碳源 生长条件 　 　 　 　 　　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＢ３２１ Ａ 犇犗犐１０．１１８９６．ｉｓｓｎ．１００５０２３Ｘ．２０１７．０３．０２２ 　　 　　 ｊ 犚犲狊犲犪狉犮犺犘狉狅狉犲狊狊狅犳犔犪狉犲犪狉犲犪犪狀犱犎犻犺狌犪犾犻狋犌狉犪犺犲狀犲犘狉犲犪狉犲犱 犵 犵 犵 狇 狔 狆 狆 犫犆犺犲犿犻犮犪犾犞犪狅狉犇犲狅狊犻狋犻狅狀 狔 狆 狆 ， ， ， ＳＨＩＸｉａｏｄｏｎ ＷＡＮＧＷｅｉＹＩＮＱｉａｎ ＬＩＣｈｕｎｉｎ ｇ ｇ ｊｇ （ ， ＴｉａｎｉｎＫｅＬａｂｏｒａｔｏｒｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＤｅｖｉｃｅＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ ｊ ｙ ｙ ， ， ） Ｅｎｉｎｅｅｒｉｎ ＨｅｂｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｔｉａｎｉｎ３００４０１ ｇ ｇ ｙ ｇｙ ｊ ， ， 犃犫狊狋狉犪犮狋 Ｇｒａｈｅｎｅａｓａｎｅｗｋｉｎｄｏｆｃａｒｂｏｎａｃｅｏｕｓｍａｔｅｒｉａｌｓｉｓｆｏｒｍｅｄｂ ｔｈｅｃｌｏｓｅａｃｃｕｍｕｌａｔｉｏｎｏｆａｓｉｎｌｅｌａｅｒｏｆｃａｒｂｏ