化学气相沉积炉.DOC

行业标准《》编制说明 工作简况 任务 用于金属及金属合金材料、金属复合材料的化学气相沉积炉系列，因无相应的国家标准、行业标准和地方标准可作产品标准执行，且金属及金属合金材料、金属复合材料行业的客户对化学气相沉积的设备性能需求无统一尺度衡量。湖南顶立科技有限公司根据多年来所生产的化学气相沉积炉的实际应用情况，结合金属及金属合金材料、金属复合材料行业的需求情况，对化学气相沉积炉的系统组成、性能特点进行了总结，并将总结形成《化学气相沉积炉》标准，并于2012年12月报有色行业标委会。根据《》2013-0382T-YS。 2013年8月5日，有色行业标委会 [2013]27号文件转发2013年第一批有色金属国家、行业标准制（修）订项目计划 计划号 项目 名称 标准性质 制修订 完成时间 技术归口单位 主要起草 单位 采标情况 代替 标准 87 2013-0382T-YS 化学气相沉积炉 推荐 制定 2014 全国有色金属标准化技术委员会 湖南顶立科技有限公司 　 　 2014年3月14日，中色标所字[2014]8号 关于召开有色金属标准编写研讨暨培训会，对编制行业标准人员进行了资质培训，再次确认《化学气相沉积炉》编写工作 近几年有标准起草任务的单位 （稀有金属、粉末冶金分标委会，SAC/TC243/SC3、SC4） 序号 标准 主要起草单位 备注 34 化学气相沉积炉 湖南顶立科技有限公司 已下计划 1.3起草单位情况 XXXXX 1.4主要工作过程和工作内容 根据任务落实会议精神，我公司组建了《》））））GB/T 10067.4—2005第6章的规定进行。 2.2.5.2 主要技术性能的检验 极限真空度的检测 当主泵开启2h后，测电阻真空计或麦式真空计所得的读数。 升压率的检测 按GB/T 10066.1?—2004第7.1.11.3条的规定，在炉内达到极限真空度时关闭所有阀门，第一次读数从关闭真空阀门后约20min开始测P1，24h后测P2。 炉温均匀性的检测 按GB/T 10066.4?—2004第6.15条中规定的设定足够的测温点,按规定检测炉温均匀性。采用标准热电偶的检测，在真空下温度为1050℃保温30min后测取数据；或采用标准测温块的检测，在真空下达到工作温度保温60min后，自然降温开炉取测温块，采用高精度游标尺量取。 空炉升温平均速率的检测 在常温下，当空炉的真空度≤20Pa时，以全功率升温，达到额定炉温时与所需的时间之比。 抽气时间的检测 当主泵开启后，测电阻真空计或麦式真空计读数到达20Pa时所需的时间。 对检验的项目进行了规定： 每台化学气相沉积炉都应进行总体结构及其基本参数、要求和主要技术性能的检验。 2.2.5.3对检验结果的判定进行了规定： 化学气相沉积炉总体结构及其基本参数、一般要求和主要技术性能的检验，不符合本标准及合同（包括供需双方签定的技术图样）的规定时，应修改设计及制造的不合格部分，直至满足本标准及合同（包括供需双方签定的技术图样）要求 。 标准水平分析 与国内主要生产厂家产品各项技术指标相比，本标准属于国内先进水平。 与有关的现行法律、法规和强制性国家标准的关系 本标准的制定符合现行法律、法规和强制性国家标准的规定。 重大分歧意见的处理经过和依据 无。 标准作为强制性或推荐性标准的建议 建议该标准作为推荐性行业标准。 贯彻标准的要求和措施建议 本标准的制定过程、技术指标的选定、检验项目的设置符合生产制造商和需方的要求。因此建议可积极向生产厂家和用户推荐采用本标准。 废止现行有关标准的建议 无。 其它应予说明的事项 无。 预期效果 行业标准《化学气相沉积炉》的制定，考虑了我国化学气相沉积炉生产企业的特点和制造技术水平的状况以及用户使用的需求，本标准达到了国内先进水平。标准的制定遵循了、合理性、规范性及先进性等原则，反映了我国生产制造商的技术状况和用户的使用水平，通过3～ 1