半导体纳米晶体在薄膜晶体管中的应用。.PDF

半导体纳米晶体在薄膜晶体管中的应用／栾庆彬等 · 1 · 半导体纳米晶体在薄膜晶体管中的应用。 栾庆彬，皮孝东 (浙江大学硅材料国家重点实验室，浙江大学材料科学与工程系，杭州310027) 摘要 以非晶硅薄膜为核心的薄膜晶体管技术目前已经相当成熟，在该技术投入使用并且得以很好地优化之 后，要想进一步提高薄膜晶体管的性能，就有必要开发新型的薄膜材料。近年来，由半导体纳米晶体构成的新型薄膜 材料在晶体管中的应用越来越受到人们关注。利用半导体纳米晶体制备的薄膜晶体管有着较高的栽流子迁移率和 开关电流比，同时在其制备过程中可以在较低温度下大面积成膜，能够使用塑料等柔性衬底，因而具有明显的成本优 势，发展前景广阔。着重介绍了几种颇具潜力的半导体(如硒化镉、碲化汞、硒化铅、锗、硅)纳米晶体在制备薄膜晶体 管方面的应用。 关键词 薄膜晶体管有源层半导体纳米晶体硒化镉碲化汞硒化铅锗硅 文献标识码：A 1005—023X2014．21．001 中图分类号：TB321；TN321+．5 DOI：10．11896／j．issrL SemiconductorforThinFilmTransistors Nanocrystals LUAN Qingbin，PIXiaodong (State ofSilicon ofMaterialsScienceand KeyLaboratoryMaterials，ZhejiangUniversity；Department Engineering， 310027) ZhejiangUniversity，Hangzhou AbstractThin-filmtransistors(TFrs)arefabricated mainlybyusingamorphous with forTFrS hasledtOtheextensiveonhovelthin-filmmaterials．Inrecent quest improvedperformance study years semiconductor attractedattention their inthe nanocrystals(NCs)have becauseof ofthin great potentialpreparation filmsforTFTs．Thecarrier and ratioofTFTsbasedonsemiconductorNCs be is mobilityIon／I。ff mayhigh．Itpossi- blethat semiconductor-NCthinfilmscanbeobtainedatthe offlexiblesubstratesat10w large-area top temperature． thelOWcostofthe ofTFTsbased