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双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构
第 卷 第 期 影 像 科 学 与光 化 学
年 月
论 文
双光子微纳加工技术结合化学镀工艺
制备三维金属微弹簧结构
贾雁鹏 郑美玲 董贤子 赵震声 段宣明
中国科学院理化技术研究所北京 中国科学院重庆绿色智能技术研究院重庆
中国科学院大学北京
摘 要利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学镀工艺制备了三维金属微弹簧结构采用扫
描电子显微镜 及选区电子能谱 对镀层进行了表征当化学镀时间为 时所
得到的镀层厚度约为对不同电镀时间下获得的镀层电阻率进行了测定实验结果表
明当电镀时间为 时得到的镀层电阻率约为 仅为银块体材料电阻率
的 倍利用这种方法我们制备了总长度为 周期为 的悬空
金属弹簧结构其中弹簧圈数为 圈直径为 弹簧线分辨率为 文中所述的将双
光子微纳加工技术与化学镀技术相结合的方法可以实现任意三维微金属结构与器件的制备在
微光学器件微机电系统 及微传感器等领域有着广泛的应用前景
双光子微纳加工技术化学镀三维金属微纳米结构
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