基于犣状犗压电薄膜的柔性声表面波器件 - 光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 ２２ ２ 　 Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１４ ２ Ｆｅｂ．２０１４ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１４０２０３４６０５ 　 基于犣狀犗压电薄膜的柔性声表面波器件 ， １ １ １ １ １２ 周 剑 ，何兴理 ，金 浩 ，王德苗 ，骆季奎 　 　 （ 浙江大学 信息与电子工程学系，浙江 杭州 ； １． ３１００２７ ２．英国博尔顿大学 可再生能源和环境技术研究所，博尔顿 ＢＬ３５ＡＢ） 摘要：提出并制备了基于聚酰亚胺柔性衬底的声表面波（ ）器件。在柔性聚酰亚胺衬底上低温反应磁控溅射沉积了 ＳＡＷ 压电薄膜；采用 射线衍射仪，扫描电子显微镜，原子力显微镜等设备对 薄膜进行了检测，结果表明： 薄膜 ＺｎＯ Ｘ ＺｎＯ ＺｎＯ 晶粒呈柱状生长并且（ ）择优取向，膜粗糙度小于 ，适合制作压电器件。在柔性衬底上制备了基于 压电薄膜 ００２ ９ｎｍ ＺｎＯ 的ＳＡＷ器件，该器件表现出良好的谐振性能。采用矢量网络分析仪检测器件的传输曲线，实验结果与仿真结果具有很 好的一致性。随着波长减小，谐振频率和相速度增加，当 ＺｎＯ厚度为 ４ ｍ，波长为 ８ ｍ时，器件的谐振频率为 ２６８ μ μ ，相速度为 ／，机电耦合系数为 ；当 厚度增加时，此叠层结构的声表面器件的叠层声速也增加。 ＭＨｚ ２１４４ｍ ｓ １．１％ ＺｎＯ 关 键 词：柔性衬底； 薄膜；压电薄膜；声表面波器件 ＺｎＯ 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＮ６５ＴＮ３８４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０３４６ 　　 　　 犉犾犲狓犻犫犾犲犣狀犗狋犺犻狀犳犻犾犿犛犃犠 犱犲狏犻犮犲狅狀 狅犾犻犿犻犱犲狊狌犫狊狋狉犪狋犲 狆 狔