多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺研究.PDF

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多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺研究

实用研究 特种铸造及有色合金 年第 卷第 期 2013 33 2   多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺研究 刘志凯 戴斌煜 张 伟 商景利         ( ) 南昌航空大学航空 制造工程学院 。 , 摘 要 研究了石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺 在氮化硅浆料中加入一定量固体和液体粘结剂 使氮化硅粉强有力地     , , 吸附在坩埚内壁 喷涂完成后在 保温 直接装入硅料 免去了传统涂层制备工艺中坩埚需在 温度下烧 70 80 ℃ 2h 1050 ℃ ~   。 , , 。 结 6 7h的工艺过程 此工艺可缩短晶锭的生产周期 提高生产效率 降低生产成本 ~ ; ; ; 关键词 多晶硅 免烧结 氮化硅涂层 粘结剂   中图分类号 + ; + 文献标志码 文章编号 ( ) TM914.4 1TN304.1 2 A 1001-2249201302-0116-03              Pre arationofSiN Coatin in uartzCrucibleUsedfor             p 3 4 g Q   Multicr stallineSiliconInotb NonsinteredProcess y     g   y -     , , , LiuZhikai DaiBin u Zhan Wei Shan Jian li     y g g g     ( , ) SchoolofAeronauticalManufacturin andEn ineerin Nanchan Han kon Universit       g   g g g g g y

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