大功率半导体激光器光纤耦合模块的耦合光学系统3.PDF

　第 22 卷第 12 期 半　导　体　学　报 . 22, . 12 V o l N o 　2001 年 12 月 . , 2001 CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S D ec 大功率半导体激光器光纤耦合模块的耦合光学系统 陈少武　韩　勤　胡传贤　金才政 ( 中国科学院半导体研究所 国家光电子工艺中心, 北京　100083) 摘要: 针对 808 大功率 半导体量子阱激光器的远场光场分布特点, 提出了与多模光纤耦合时对 nm GaA s GaA lA s 耦合光学系统的特殊要求, 并根据低成本、实用化的要求设计制作了专用的耦合光学系统, 对耦合光学系统的实 际性能进行了测试, 给出了耦合效率统计分布图、耦合偏差曲线和高低温可靠性实验结果. 用设计制作出的实用 化耦合光学系统完成了输出功率 15—30 , 光纤束数值孔径为 0 11—0 22 的半导体激光光纤耦合模块, 模块的使 W 用结果表明耦合光学系统稳定、高效、实用. 关键词: 半导体激光器; 光学系统; 光纤; 可靠性 : 4320 ; 4125; 0170 　　　 : 4260 EEACC J N PACC B 中图分类号: TN 253　　　文献标识码: A 　　　文章编号: (2001) 定可靠、工艺简化实用, 则耦合设计更具挑战性. 国 1　引言 内的研究绝大多数集中在半导体激光器和单模光纤 的耦合方面, 目前我们还没有看到有关大功率半导 目前, 半导体激光器在信息、能源、医疗、材料、 体激光器和多模光纤耦合方面的公开研究报道. 从 娱乐等诸多领域都得到了越来越多的应用, 材料和 国外一些研究机构公开报道的研究论文看[ 6—8 ] , 或 [ 1, 2 ] 器件的水平也有了长足的进展 . 在相当多的应用 多或少都存在着系统结构复杂难以实用化的问题, 中, 半导体激光器都要和光纤或光纤束耦合为一体, 基本上处于实验室研究的水平. 而国外一些著名半 例如光纤通信中的光发射模块或半导体光放大器, 导体激光器专业制造厂商如 、 、 SDL Coheren t Op to