大口径非球面反射镜误差分离组合加工技术-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椀 暋 棿 暋 斨旓旍棶棽椀暋斘旓棶棿 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椃 棿 暋 暋 暋 斄 旘棶棽棸棻椃 旔 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椃棸棿灢棸椄棻棾灢棸椃 大口径非球面反射镜误差分离组合加工技术 灣 棳 棳 棳 棳 刘振宇 李龙响 曾雪峰 罗 霄 张学军 暋 棬 棳 棭 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心 吉林长春 棻棾棸棸棾棾 椇 棳 摘要 为了解决大口径非球面反射镜材料去除效率与面形收敛效率之间的矛盾 提出了基于高低阶面形误差分离的组合 暎 棳 暎 棳 加工技术 首先 分析了不同尺寸磨头对不同周期面形误差的控制能力 然后 比较了不同磨头的收敛效率与加工时间 暎 棳 棳 之间的关系 最后 根据大口径非球面反射镜加工过程中面形误差的特点 将大口径非球面反射镜的面形误差分离为低 棳 暍 暎 阶面形误差与高阶面形误差 使用不同加工方式分别对高 低阶面形误差驻留时间进行求解 通过多种加工方式组合加 棳 暎 棳 工的方法建立了具有针对性的加工策略 有效提高加工效率 结合工程实例 对一块口径为 棽棶棸棿旐的非球面斢旈斆反射 棳 暎 棳 镜进行了加工试验 单个组合加工周期内面形收敛效率达到 椂棻棶棽棩 结果表明 高阶与低阶面形误差均得到较好的去 暎 棳 棳 暎 除 材料去除效率与面形收敛效率均得到提高 达到了良好的效果 满足加工需求 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 光学加工 误差分离 组合加工 高阶误差 低阶误差 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 椃棽椀棸棿棶棸椄棻棾 斣斍椃棿暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻 斊斸斺旘旈斻斸旚旈旓旑旓旀旍斸旘斿斸旙旇斿旘旈斻旐旈旘旘旓旘旛旙旈旑 旐旛旍旚旈灢旐旓斾斿 旂 旔 旂 旓旍旈旙旇旈旑 斺斸旙斿斾旓旑斿旘旘旓旘旙斿斸旘斸旚旈旓旑 旔 旂 旔 灣 斕斏斦斱旇斿旑灢旛 棳 棳 棳 棳