旁栅偏压对GaAsMESFET沟道电流中低频振荡的调制.PDF

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旁栅偏压对GaAsMESFET沟道电流中低频振荡的调制

论 文 第50 卷 第 11 期 2005 年6 月 GaAs MESFET (, , 210096. E-mail: dingyong@) MESFET . GaAs MESFET , , , . -(C-S) EL2 . GaAs IC . EL2 GaAs, MESFET , , . . MESFET , , ,, . [1,2] , . MESFET GaAs . [3~5] . 1 : (1) , Cr; (2) LEC S.I.GaAs, 100 Hz, MESFET . Si ; (3) , 12 −2 13 −2 : 610 cm , 60 keV, n ; 1.510 cm , , + 12 −2 30 keV, n . B 810 cm , ; (4) , 80 keV, 940 , 10s. . MESFET 2 μm, 10 μm, 6 [6], μm, 10 μm ×10 μm, MESFET 20 μm, 80 , GaAs MESFET. μm ×80 μm, MESFET 1 . Miller,

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