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溅射工艺对TiAlN薄膜摩擦学性能的影响-电子科学技术
27 2 Vol127, No1 2
2007 4 JOURNAL OF AERONAUTICAL MATERIALS April 2007
TiAlN
罗 飞, 何 欣, 杨会生, 高克玮, 王燕斌
( , 100083)
: T iA lN, RD, UMT
, T Ai lN , , ,
A l, GCr15 T Ai lN ,
: ; T iAlN;
: O48414 : A : 1005-5053( 2007) 02-0033-04
TAi lN
- 3
, : 4. 0 @ 10 Pa;
, - 1
170mm, 1. 4 @ 10 Pa, Ar N2
[ 1~ 3]
, 3B 4, 350W,
, 200W, 250W, 300W, 350W 400W
, 350W, 300W
T iAlN T iN - 25V, - 50V - 75V
[ 4] [5, 6] - 1
, T Ai lN , 1. 4@ 10 Pa
15m in
[7, 8]
TAi lN RD
,, UMT ()
, ,
: 10mm, 1mm /s, ,
TAi lN, 30%~ 50% 5mm GCr15
,
2 结果与讨论
1 试验方法
2. 1 X
TAi lN 1: T iN
, A l T i ( 50. 5mm ) A lN
, , ( 111)
, , ( 111)
T i A l (
2), , A l
: 2006-03-02; : 2006-07-13
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