犁136不锈钢基体溅射氮化铬薄膜的硬度和接触角-材料与测试网.PDF

第 卷 第 期 机 械 工 程 材 料 ３７ １２ Ｖｏｌ．３７ Ｎｏ．１２ 　 　 　 　 　 　 年 月 ２０１３ １２ Ｄｅｃ． ２０１３ 　 Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｆｏｒ ＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　 　 ｇ ｇ 犛１３６不锈钢基体溅射氮化铬薄膜的硬度和接触角 １ ２ ３ ２ ２ 王翠凤 ，邱锡荣 ，康爱军 ，梁家豪 ，黄文荣 （ 福建信息职业技术学院，福州 ； 高雄应用科技大学模具工程系，高雄 ； １． ３５０００３２． ８０７０６ ３．东北特殊钢集团技术中心工模具钢研究室，抚顺 １１３００１） 摘 要：在不同的 不锈钢基体上溅射制备了氮化铬（ ）薄膜，通过接触角的测量、硬度 Ｓ１３６ ＣｒＮ 　 测试、扫描电子显微镜观察及 射线衍射分析等方法研究了基材的组织、方向性、表面粗糙度、表 Ｘ 面机械加工方法及溅射偏压对ＣｒＮ薄膜接触角和硬度的影响。结果表明：在溅射功率３００Ｗ、施 加 偏压、氩气和氮气流量比 溅射条件下，可得到 单相薄膜，呈现（ ）面择优取 －１２０Ｖ ９∶１ ＣｒＮ １１１ ２ 向；溅射ＣｒＮ薄膜显著提高Ｓ１３６不锈钢表面硬度和接触角；溅射时施加负偏压的ＣｒＮ薄膜接触 角明显大于未施加的；基材杂质少、碳化物细小、研磨后抛光、施加负偏压的纵向试样溅射ＣｒＮ薄 膜后硬度较高（ ）、接触角较大（ ）。 １１７７ＨＶ ９８．７７° 关键词： 薄膜；接触角； 不锈钢 ＣｒＮ Ｓ１３６ 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ１４２．４５ Ａ １０００３７３８２０１３０１２００２１０６ 　　　 　　　 犎犪狉犱狀犲狊狊犪狀犱犆狅狀狋犪犮狋犃狀犾犲狅犳犆狉犖犆狅犪狋犻狀犛狌狋狋犲狉犲犱 犵 犵狆 狅狀犕犪狋狉犻狓狅犳犛１３６犛狋犪犻狀犾犲狊狊犛狋犲犲犾狊 １ ２ ３ ２ ２ ， ， ， ， 犠犃犖犌犆狌