电弧离子镀技术中脉冲偏压对T iN 薄膜的影响 - 河北师范大学学报.PDF

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2017-06-24 发布于天津
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电弧离子镀技术中脉冲偏压对T iN 薄膜的影响 - 河北师范大学学报

30 5 ( ) Vol. 30 No. 5 2006 9 Journal of Hebei Normal Universit y ( Natural Science Edition) Sep. 2006 电弧离子镀技术中脉冲偏压对T iN 薄膜的影响 1 2 赵喜梅, 王光平 ( 1. , 054001; 2. , 050091) : TiN . , , , , . : . : ; ; :TB 43 :A : 1000-5854(2006) 05-0555-04 , , . , , : [ 1] [2, 3] [4] [5] [6,7] , , , , ( ) . . , , , , [6, 8] . , , , , . , , T iN . 1 ( ) : ( V p) , ( r ) , (f ) , ( VD) , ( I ) , ( P ) , 6 ( N = 6) . 3 ( m = 3) , , 7 [ 9] 2, N @ ( m - 1) , 13, L 18( 2@ 3 ) . , , , , , , 2~ 7 , 1~ 8 ( 1) , , 1~ 18 . 20 , 18 . 7 1 L 18( 2@ 3 ) 1 2 3 4 5 6 7 8 e A B C D E F e V / V V / V p r D f / Hz I / A P / Pa 1 1 300 0. 08 0 15 50 0. 4 1 2 1 300 0. 33 75 30 65 0. 7 2 3 1 300 0. 58 150 45 80 1. 0 3 4 1 550 0. 08 0 30 65 1. 0 3 5 1 550 0. 33 75 45 80 0. 4 1 6 1 550 0. 58 150 15 50 0. 7 2 7 1 800 0. 08 75 15 80 0. 7 3 * :2005 11 22 :( Z2005319) :( 1962 ), , , , . 556 ( )