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电致发光成像技术在硅太阳能电池隐性缺陷检测中的应用
32 4 Vol32 No4
2011 4 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE Apr. , 2011
: 2011) 0403780
电致发光成像技术在硅太阳能电池
隐性缺陷检测中的应用
1 1 1 1 2 1, 3*
李艳华 , 潘 淼 , 庞爱锁 , 武智平, 郑兰花, 陈 朝
( 1. , 36100 ;
2. , 36100 ; 3. , 36100 )
: ( E lectrolum inescence, EL )
EL 8 0~ 1 200 nm EL
, EL
CCD EL, EL
EL , EL
: ; EL; ; CCD
: TN3831 PACS: 78. 60. Fi; 84. 60. Jt PACC: 7860F; 8630J : A
DOI: 10. 3788/ fgx 0378
; DLIT InGaA s
1 引 言
, DLIT
, EL 1 s
CCD ,
, DLIT
, EL
, , EL
,
, EL ,
,
( L ight beam induced current, LBIC) ,
( Electron beam induced current, ,
EBIC) [ 12] ( Dark lockin thermogra
phy, DLIT) [ 34] LBIC EBIC ( LED)
DLIT ,
, , EL 8 0~
1 200 nm,
, DLIT EL
: :
: 2007 ( 2007HZ00 2)
: ( 1984 - ), , ,
Em ail: liyanhua9201@ yahoo. com. cn
* : ; Em ail: cchen@ xmu. edu. cn, Tel: ( 0 92) 21824 8
4 , : 379
EL ,
[ ]
0. 7 ~ 3. 0 V EL
, ,
3 结果与讨论
,
; , 3. 1 EL
#
,
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