硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究.PDF

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2017-06-24 发布于天津
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硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究

10 1998 清华大学精密仪器系　北京市　100084 本文提出了一种新结构的硅微热致动泵, 着对其关键加工工艺进行了综述分析和实验研究, 可为国内相关领域的研究提供一定的参考。 : - Design of Thermo Driven Silicon Micropump and Research on Its Fabrication Processes Cui Tianhong, ZhouZhaoying, Wang iaohao, Ye iongying, Yang Yue Department of Precision Instruments and M echanology, T singhua Uni er sity Beijing . 100084 Abstract: This paper presents a no el structure of thermo- dri en silicon micropump. T he fabrication pr ocesses of this micropump are analyzed in sum - . may and measur ed in indi idual experiments T he experiment results ar e credi- ble and useful . Key Words: M icromachine, Micropump, Bulk Silicon Process. , , , 1 21 , , , : 1 LIGA : , , , 2 , , , : 2mm2mm3mm 3mm 4mm 4mm 1992 35Lm 7Lm , , , 8 õõ 11 , 1 15 , 5 8 V , 1. : 1. : ; 2. ; : 2.