磁控溅射CNx薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系-发光学报.PDF

下载文档

6
0
约1.37万字
约 4页
2017-06-24 发布于天津
举报
版权申诉
保障服务

磁控溅射CNx薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系-发光学报.PDF

1、本文档共4页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

磁控溅射CNx薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系-发光学报

24 3 Vol1 24 No . 3 2003 6 CHINESE JOURNAL OF LU MINESCENCE Jun. , 200 3 : 1000- 032(2003) 03-0305-04 磁控溅射CNx 薄膜的附着力粗糙度与衬底偏压的关系 1, 2 1 1 1 1 1* 2 李俊杰 , 王欣 , 卞海蛟 , 郑伟涛, 吕宪义 , 金曾孙 , 孙龙 ( 11 ; , 130023; 21 , 133002) : Si( 001) CN x CN N , ( T ) 350 e , ( V ) 0~ - 150V x 2 s b (AFM) CN AFM x V CN , - 100V b x CN ( ) , Si( 001) Si x ( 001) CN x : CN ; ; ; x : O48415 : A CN 1 引言 x CNx 2 实验 [ 1~ 3] CNx CNx [4~ 6] , 5@ 10- 4Pa, , CN , x , CVD Si ( 001) , , ( 99199%) 80mmSi , CNx , 10min, , , Si , Si SiO , Si SiF , 2 4 , CNx , , [ , 8] , , CNx 500 e , 10min SiF4, Si CN , , , 350 e x ,