- 1、本文档共7页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
磁控溅射TiN/Si,N4纳米复合膜的制备及其环境摩擦学特性
第26卷 第3期 材料科学与工程学报 总第113期
8L
No.3 ofMaterialsScience
V01.26 Journal Engineering Jun.2008
05
文章编号:1673—281212008)03—0380
磁控溅射TiN/Si,N4纳米复合膜的制备及其环境摩擦学特性
杨友志1,郑晓华1’2
(1.浙江大学材料科学与工程系。浙江杭州310027:
2.浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室。浙江杭州310032l
【摘要】
HRTEM等对薄膜的组织结构和形貌进行了表征。采用划痕仪和球一盘式摩擦仪分别测试了薄膜的结合力和在
大气及真空中的摩擦学性能。结果表明,TiN/Si。N。复合薄膜由纳米TiN相镶嵌于非晶态si。N。基体内构成。薄
膜中Si含量的增加可抑制纳米TiN相的长大,降低薄膜摩擦系数,薄膜的摩擦学性能得到改善。溅射气压升高导
致薄膜呈柱状结构,结合力下降,摩擦系数和磨损率上升。0.2Pa下制备含12.9at.0ASi的TiN/Si。N。复合薄膜在
潮湿空气和真空中均具有良好的摩擦学性能。
【关键词】TiN;纳米复合膜;磁控溅射;摩擦与磨损
中图分类号:TGll5.5 文献标识码:A
of
and Performancethe
TiN/Si3N4
PreparationTribological Composite
Films atDifferent
Deposited
byMagnetronSputtering
YANGYou—zhil,ZHENGXiao-hual,2
ofMaterialsScienceand MOE
(1.Department Engineering,ZhejiangUniversity,Hangzhou310027,China;2.TheKey
ofMechanicalManufactureand of 310032,China)
Laboratory Technology,Hangzhou
Automation,ZhejiangUniversity
[Abstract]TiN/Si3N4nano filmswere on steelDC
composite preparedhigh-speedby magnetronsputtering.The
and werecharacterizedEDS,XRD.SEMandHRTEM.Theadhesionto
composition,microstructuremorphology by
substrateand in andvacuumwereevaluatedscratchtestandball—on-disktribometer
tribologicalperformanceatmosp
您可能关注的文档
- 相控式交流对直流电能转换器-电力电子应用研究室.DOC
- 相控阵天线接收组件自动测试系统设计-信息工程大学学报.PDF
- 相干拉曼散射显微术.PDF
- 省优势学科科研团队情况上报-未来移动通信基础-江苏省产学研合作网.doc
- 相关法测天线远场二维方向图的原理见文献[1,2].本文-电子与信息学报.PDF
- 省电.大口径低扬程.大水量不锈钢外壳C-AOSUBMERSIBLEPUMPS.PDF
- 省赛课件五-江苏省如皋第一中等专业学校.PPT
- 真空技术问答100题-深圳市摩尔真空技术有限公司.DOC
- 真空热处理对NiCrAlY涂层组织与性能的影响-中国有色金属学报.PDF
- 真空闪蒸冷却换热机制及流量影响-化工学报.PDF
文档评论(0)