- 1、本文档共6页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
简单的光学突破3C 科技瓶颈:浸润式微影
鐗╃悊鏁欒偛瀛稿垔鐗╃悊鏁欒偛瀛稿垔 ChineseChinese Physics EducationPhysics Education
绨″柈鐨勫厜瀛哥獊鐮?C 绉戞妧鐡堕牳锛氭蹈娼ゅ紡寰奖 71
20020 168,, 绗涔濆崄鍗风涓€鏈熶竷鍗风涓€鏈? 1-, 1629-34 2016, 17(1), 29-34
2008, 9(1), 1-16
10.6212/CPE.2016.170 1.03
绨″柈鐨勫厜瀛哥獊鐮?C 绉戞妧鐡堕牳锛氭蹈娼ゅ紡寰奖
鏋楄偛瑭
鍦嬬珛浜ら€氬ぇ瀛稿厜闆诲伐绋嬫墍
e-mail: iv
锛堟姇绋挎棩鏈燂細姘戝湅105 骞?6 鏈?9 鏃ワ紝鎺ュ彈鏃ユ湡锛?05 骞?7 鏈?5 鏃ワ級
鎽樿 锛氬彴鐏e湪IC 瑁介€犱笂鍦ㄥ叏鐞冩壆婕旇憲鑸夎冻杓曢噸鐨勮鑹诧紝鍦ㄦ妧琛撶爺鐧兼洿鏈夌浉鐣剁殑璨
鐛 锛岃€屼腑瀛告墍瀛稿埌鐨勫熀鏈厜瀛革紝涔熻寮曠敤鍒癐C 瑁介€狅紝寮曢牁浜嗘妧琛撶摱闋哥殑绐佺牬銆傞毃
钁桰C 灏哄鐨勫井灏忓寲锛岃棄鐢遍浕鏅堕珨鐨勯€氶亾闀峰害绺煭锛屼締閬斿埌杓冨ソ鐨勫厓浠剁壒鎬с€傚湪鐣
鍗婂皫楂斿厓浠惰=绋嬫妧琛撶櫦灞曞埌 65 nm 鎶€琛撶瘈榛炴檪锛岀従鏈夊厜瀛稿井褰辫=绋嬭ɑ涓€
( photolithography ) 鐨勬洕鍏夋妧琛撳埌閬斾簡鐡堕牳銆備互姘寸偤浠嬭唱鐨勩€屾蹈娼ゅ紡寰奖銆嶏紝鍦ㄥ井
褰辫=绋嬫妧琛撲笂鏈夌獊鐮存€х殑鐧煎睍锛屾洿鎴愬姛鐨勮鎳夌敤鍦?5-,45-,鍜?2-nm 鐨勫崐灏庨珨瑁界▼
鎶€琛撲笂銆傛蹈娼ゅ紡寰奖鍒╃敤绨″柈鐨勭墿鐞嗗厜瀛稿師鐞嗭紝鍖呭惈鎶樺皠 銆佺篂灏勮垏閼戝垾搴 锛屽彲浠
鍚屾檪鏀瑰杽瑙f瀽搴﹀拰鐒﹁窛娣卞害銆備娇鐢ㄥ師鏈夊井褰辩郴绲 锛屾惌閰嶆蹈娼ゅ紡寰奖锛屽彲浠ラ仈鍒版洿
鐭厜婧愭尝闀风殑鏁堟灉锛屽皪IC 灏哄鐨勫井灏忓寲鏈夊緢澶х殑骞姪銆
闂滈嵉瑭烇細鎶樺皠銆佺篂灏勩€佹蹈娼ゅ紡寰奖銆佸崐灏庨珨鐮旂櫦
澹广€佸墠瑷€ 涓€鍊嶃€傜従浠婏紝鍦ㄦ垜鍊戠敓娲诲懆閬浕瀛愮敘鍝佸収鐨
寰皬鏅剁墖涓婏紝灏辨搧鏈変笂鍎勯闆绘櫠楂斻€傞毃钁楃
涓鐢熷湪瀛哥墿鐞嗘檪锛屽彲鑳芥渻璩枒閫欎簺鐞 楂旈浕璺ō瑷堣闆滃寲锛屾櫠鐗囧昂瀵哥府灏忓寲锛屽柈涓€
璜栫殑瀵︾敤鎬с€傛湰鏂囧緸楂樹腑鐗╃悊鍏夊鐨勫師鐞嗗嚭 鏅剁墖涓婄殑闆绘櫠楂旂殑瀵嗗害澧炲姞銆備娇鐢ㄥ厜瀛稿井褰
鐧硷紝浠嬬垂鐝句粖绉戞妧鎶€琛撶獊鐮寸殑瀵︿緥-娴告饯寮忓井 瑁界▼锛岀煭鏅傞枔鍏у彲浠ュぇ閲忕敓鐢紝涓旇В鏋愬害浣炽€
褰? immersion lithography ) 锛屼締绐侀’鍩虹鐗╃悊 鎴愭湰浣庣瓑鍎嫝锛屾垚鐐哄崐灏庨珨瑁界▼鐨勯棞閸垫妧琛擄紝
鑸囩鎶€鎳夌敤绔殑绶婂瘑閫g祼銆 浣嗗洶闆e害涔熸棩鐩婇伣澧炪€傚浣曡畵鍏夌僵涓婂绫冲昂
1965 骞达紝鑻辩壒鐖? Intel )鍏卞悓鍓佃睛浜 搴︾殑鍦栨涓嶅け鐪熺殑杞夌Щ鑷虫櫠鐗囦笂锛屾洿鏄繎骞
Gordon Moore 鎻愬嚭鐨凪oore鈥檚 Law 锛氱楂旈浕 骞村崐灏庨珨鐣屾鎵嬪晱椤屼箣涓€銆
璺笂鍙绱嶇殑闆绘櫠楂旀暩閲忥紝姣?4 鍊嬫湀鏈冨鍔 鐣 IC 鍏冧欢灏哄绺皬锛屽厜缃╀笂鐨勫湒妗堢窔
30
文档评论(0)