89-聚焦离子束-电子束系统.PDF

下载文档

5
0
约1.71千字
约 1页
2017-06-25 发布于天津
举报
版权申诉
保障服务

89-聚焦离子束-电子束系统.PDF

1、本文档共1页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

89-聚焦离子束-电子束系统

聚焦离子束/电子束系统院系：物理学院仪器所属人工微结构与介观物理 201209197 编号实验室国家重点实验室制造商制造 Helios Nanolab 美国 FEI公司型号国别厂商 600i 经费科研专款购置单价 672.38万元 2012年08月来源或基金日期责任存放李洪云物理楼北148室教授地点基本电子束分辨率：0.9nm/15kV，1.4nm/5kV，（最佳工信作距离），1.0nm/15kV，1.6nm/5kV，2.5nm/15kV （束交叉点）；离子束分辨率：4.5nm/30kV （平均息值法测量），2.5nm/30kV （单边最优值测量），电子束电压：350V-30kV ，离子束加束电压：0.5- 技术指 30kV，可配置多种探测器和气体样品。标及功用离子束刻蚀，沉积纳米级线条和图形，电子束曝能简介光技术进行纳米结构加工，电子束对加工过程进行实时观测，该系统的Schottky FESEM第一次达到亚纳米分辨率，FIB 出色的分辨率以及最大范围的束流和加速电压，二位和三维的纳米表征和纳米原型制作达到了新的极限。聚焦离子束/电子束系统主要研介观光学、低维纳米结构和物理、宽禁带半导体等。究方向在研或曾承担 — 重大项目奖项 — 专利人才已经完成两期培训，培训学员30余人。培养相关科研信息学术 — 论文知名龚旗煌教授，沈波教授等。用户共是否对服务收费是本院系教学科研 — 享外开放对象标准信电子联系开放 8:00～17:00 联系人李洪云 lihongyun@pku.edu.cn 息邮件电话时间（周一～周四）备仪器处于试用阶段，暂时免费对本学院开放注 89