CERS项目大型科学仪器系列培训通知电子束曝光及-实验室设备处.PDF

高等学校仪器设备和优质资源共享系统 （CERS） CERS 项目大型科学仪器系列培训通知 电子束曝光及深干法刻蚀技术的基础与应用 各有关高校： CERS 管理中心依托西安交通大学微纳加工中心示范机组举办“电子 束曝光及深干法刻蚀技术的基础与应用”专题培训，具体安排如下，欢 迎各相关机构积极组织技术人员参加。 一、 培训内容： 电子束曝光系统的原理、构造、工艺及应用； 深干法刻蚀系统的原理、构造、工艺及应用； 学员上机操作（硅纳米结构加工）。 二、 主讲教师： 李吉成高工，机械制造系统工程国家重点实验室微纳加工中心主管； 张亮亮工程师，西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 EBL 负 责人。 三、 培训时间：2015 年4 月16 日～17 日 四、 报到时间：2015 年4 月16 日 五、 报到及培训地点：西安交通大学曲江校区西五楼机械制造系统工程 国家重点实验室 六、 培训对象： 相关高校电子束曝光及深干法刻蚀实验技术人员和研究人员，本期 培训最多可接纳培训容量为30 人，根据报名情况确定参加人员。 七、 培训费用： 无培训费。培训学员上机操作机时费用和讲师授课的费用由CERS 项 目经费支持。参加人员食宿自理。不安排接送。 八、 报名办法： 申请参加人员请于 2015 年 3 月30 日前填写回执（见附件），通过 邮件发给联系人。 九、 联系信息： 联系人：王鑫垚(西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室) 张亮亮(西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室) 联系电话：座机029手 E-mail：sklms@mail.xjtu.edu.cn 十、 交通路线： 路线 1：西安火车站乘坐25 路公交到理工大曲江校区站下车，按路 线步行900 米。 路线2：西安北站乘地铁2 号线至钟楼站下车，转乘45 路公交车到 理工大曲江校区站下车，按路线步行900 米。 西安交通大学微纳加工示范机组 CERS 管理中心 （清华大学实验室与设备处代章） 2015 年3 月17 日 回 执 学校： 姓名 性别 职称 院系 座机、手机 邮箱 学校联系人： 备注：