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EPMA的开机步骤
EPMA的开机步骤
1. 打开氮气瓶的总开关,检查二次侧气压是否保持在0.4~0.5MPa。
2. 打开配电盘上的电子探针和冷却水开关(朝上为开)。
3. 打开冷水机开关(水龙头旋钮朝向自己为开)。
4. 把主操作面板右侧的POWER开关拉到START位置, 放手后开关停留在“I”位置。
注:这个操作结束后真空排气系统开始启动, 直到HVREADY灯亮为止。
5. 打开P-10气瓶的总开关,检查气流量是否保持在3~10mL/min。
注意:P-10气体开关打开后的30分钟内(即P-10气体与WDS 中的空气完全交换结束)
不能打开X-ra counting (即不能把主操作面板上的OPEPWR/OFF开关打到OPEPWR位
置)。
6. P-10气体开始供给30分种后,把主操作面板上的OPEPWR/OFF开关打到OPEPWR位置。
注:当这个操作结束后,扫描图像显示器上就会出现以下画面:
7. 打开工作站(EWS)、计算机以及外部设备的电源。
8. 计算机启动时,Windows会出现用户名和密码登录窗口,输入用户名(jx1)和密码(jx1jx1),
点击OK登录计算机;接着NetworkFilingSystem(NFS)窗口显示出来,点击Cancel登录NFS。
9. 双击计算机桌面上的EPMA 图标 ,会出现用户名登录窗口,输入用户名(jx1),
点击OK;接着出现密码登录窗口,输入密码(jx1jx1),点击OK。
注意:输入密码时,输入行显示空白,而没有●●●●●●显示出来。
10. 如果需要的话,可以对样品台和谱仪位置进行初始化。
a. 点击EPMA主菜单窗口上的Initialize菜单。
b. 点击Initialize下拉菜单中的的快速初始化选项(QuickInitialize)
c. 在QuickInitialize窗口中点击Spectrometer-Position和/或Stage-Position初始化按钮
d. 点击初始化OK按钮。
在启动时,马达轴位若发生偏移,执行此操作。
EPMA的关机步骤
1. 确认主操作面板右侧的HVREADY灯亮,按下主操作面板右侧的ACCELVOLTAGE-ON
按钮来关闭电子枪高压(ACCELVOLTAGE灯熄灭)。
2. 结束所有在显示器上进行的分析和数据处理操作,关闭除EPMA主菜单窗口以外的所有窗
口。
3. 点击EPMA主菜单窗口上的Initialize菜单,点击下拉菜单中的SystemShutdown 选项,在
随后出现的对话框中点击OK按钮。
4. 确认EPMA主菜单窗口全部关闭后,关闭计算机及其外围设备。
5. 把主操作面板上的OPEPWR/OFF开关打到OFF。
6. 把主操作面板右侧的POWER开关打到 “○”位置以切断EPMA 的电源供应。
7. 关闭P-10气体气瓶的总开关。
注意:切勿碰压力计的流量调节旋钮
8. 关闭氮气气瓶的总开关。
注意:切勿碰压力计的流量调节旋钮
9. 等待5分钟,直到油扩散泵(DP)冷却。
10. 关闭冷水机的总开关及配电盘上电子探针、计算机系统的开关(朝下为关)。
在正常使用情况下,推荐真空排气系统和服务器连续工作。若有必要的话,可以关掉计算
机并把主操作面板上的OPEPWR/OFF开关打到OFF位置。只有长期间不使用的情况才关闭
EPMA 的全体部件。
Process: 数据收集中某在收集后的分析数据表示分析的操作。
Analysys: 分析数据的收集的条件设定,收集开始等的操作
Monitor: 装置的控制关联(分析等的主操作以外的补助操作)的操作
EDS: 只由于EDS 的分析(JXA-8200)
Initialize: 装置的条件设定等的操作
Utilitiy: 接应等补助功能的操作
JEOL: 保养等的操作
1. 电子枪控制部
HT按钮,加速电压的状态(按钮的颜色)波及进行加速电压的ON/OFF。
按钮的颜色是黑的时候,表示加速电压不可输入,是青的时候加速电压是 OFF绿色的时候表示
加速电压成为ON。单击HT按钮的话转换加速电压的ON/OFF。在按钮的旁边显示的是被加的
加速电压的值.EMI按钮是转换emission/灯丝电流的状态的按钮。在按钮的旁边显示的是现在
的电流的值。
2. 观察条件显示部份
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