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國國立成功大學學 微奈米科科技研究中中心 TELL ：（06 31380 FFAX ：（06
Nationall Cheng Kungn Universitty Center ffor Micro/Naano Sciencee Technologyo
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SOP ELLS-7500 EX 電電子束微影系系統 SOP 1 楊穎枚 2011/04/18
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目錄
I. 設備備 33
II. 參考考資料 33
III. Sample種類類要求及限限制 33
IV. 機台台及軟體體介 紹 33
1. EELS-75000 EX硬體體外觀介紹紹 33
2. UUser interrface 66
V. 操作作流程 88
1. 刷刷卡取得機機台使用用權 88
2. 填填寫”使用用紀錄表 ””及 E-beaam writer使用前後後紀錄表 ”” 88
3. 曝曝光前之準準備 88
4. LLoading tthe specimmen 99
5. 曝曝光前之之調機 100
6. 曝曝光程序序 11
7. UUnload thhe specimen 144
VI. 機台台故障處處理方式 15
VII. 注意意事項 15
VIII.附錄 錄 (ELS--7500 Beaam currennt vs. Beaam diametter) 166
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SOP ELLS-7500 EX 電電子束微影系系統 SOP 1 楊穎枚 2011/04/18
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