NanoFrazor-Explore 3D纳米结构高速直写机.PDF

SwissLitho 公司荣誉出品 NanoFrazor-Explore 3D纳米结构高速直写机 获取更多信息请垂询中国区独家代理： Quantum Design China Quantum Design 中国子公司 NanoFrazor-Explore 厂商背景 瑞士 Swisslitho AG 公司  2012: 由Felix Holzner 和 Philip Paul建立  IBM Millipede基于探针技术的高密度存储项目衍生技术  来自10个不同国家的科技人员  位于苏黎士高科技园区  主页: 1956年 ，IBM在瑞士苏黎世建立了美国本土以外的首个实验室 ，该实验室位于风景 如画的苏黎世郊区。该实验室是行业解决方案实验室 ，是IBM整合多项领先技术和方案原型 的试验场地。 Zurich Zurich Technopark 1982年 IBM苏黎士实验室的Gerd Binning和 Heinrich Rohrer研制出第一台STM ，1986年被授 予诺贝尔奖。1986年在STM的基础上 ，G.Binning 发明了探针表面观测仪器—AFM。 此后 ，一系列以探针为基础的各种形貌观察 ， 探测 ，微纳加工等技术被不断地研究开发 出来。 NanoFrazor 就是以热探针技术为基础的 3D纳米 结构直写设备。 RD Magazine Origin of Technology: 2015 RD 100 Winners Quantum Design 中国子公司 3D Nano Lithography 产品特点  3D纳米直写能力  高直写精度 (XY: 10nm, Z: 2nm)  高速直写 20 mm/s 与EBL媲美  最大直写100 mm X 100 mm  一次直写75x75 μm2 深度200 nm  高对准/拼接精度（5nm/10nm)  无需显影，实时观察直写效果  局部改变样品表面分子结构能力  无机械阻力，针尖不易损耗  兼容传统图形转移工艺： 干法刻蚀，电镀，注射成型，lift off 工作原理 PPA(聚苯二醛) 直写胶涂敷在样品表 面。 图形直写 背热式直写探针 ，针 尖 温 度 可 达 加热探针 (6 μs) 300~400℃。与针尖接近的 PPA受热 瞬间分解 ，周围部分由于 PPA热导率 低而不受影响。 参数 PPA 闭环刻蚀技术 探针 热针震动模式直写 ，直写时探针加热 ， 设置 直写 +成像 +修正 冷却 每次下针幅度受静电力控制 ，垂直精