VD系列高压电源Dcdr.PDF

V D 系列高压直流 电源 High voltage start ing power supply 产品用途 Applicat ion 主要应用于半导体 制备工艺、真空/等离子处理 工艺、静 电技 Ma inly u sed in semiconductor ma nufact uring process, 术应用 、粒子加速器 、 电子束高压激发 、高压 设备测试 、 vacuum / plasma p rocessing techno logy , elect rostat ic 微波加热 、区熔提纯等行业领域 。 techno logy a pplicat ions, pa rt icle accelerator, high vo ltage excitat ion of e lect ron bea m, high vo ltage equipment test ing, microwave heat ing, zone-ref ining and ot her indust ries . 产品特点 Product Features ● 快速灵活高效 的打火保护策略， 提高 电源可靠性 ● Flex ible and eff icient ignit ion protect ion , improve the ● 低纹波 系数 r eliability of power supply ● 高控 制精度 ● Low r ipple coeff icient ● 模块化设计， 系统维护 方便 ● High cont ro l precision ● 高效控 制方案， 系统效率高 ● Modula r design, convenient sy stem ma intena nce ● 采用光纤通讯， 提高 电源安全性， 系统抗 干扰能力强 ● Eff icient cont ro l scheme, high sy stem eff iciency ● 集成冷却故 障， 过流 、过热 、负载打火 、充 电故 障等保护 ● Using opt ica l fiber communicat ion to improve power 功 能 s upply s ecurity , the sy stem has st rong ant i- ● 可集成 副高压 、灯 丝、磁场等多种 电源， 用途广泛 i nterference ability ● Integrated coo ling fa ult, overcurrent, overheat ing, l oad arcing, cha rge fa ult, etc