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一种基于AlGaN和石墨烯的紫外-红外双色探测器
第36卷 第10期 发 光 学 报 Vol.36 No.10
2015年10月 CHINESEJOURNAL OF LUMINESCENCE Oct. ,2015
文章编号:1000-7032(2015)10-1167-04
一种基于AlGaN和石墨烯的紫外-红外双色探测器
1,2 1 3* 4 4
刘翌寒 ,曹 伟 ,李绍娟 ,李 洋 ,孙世闯 ,
2 * 3 2
付 凯 , 陈长清 ,张宝顺
(1. 哈尔滨理工大学 测控技术与通信工程学院,黑龙江 哈尔滨 150080;
2. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏 苏州 215123;
3. 苏州大学 功能纳米与软物质研究院,江苏 苏州 215123; 4. 华中科技大学 武汉光电国家实验室,湖北 武汉 430000)
摘要:通过MOCVD和CVD生长技术,利用高Al组分AlGaN和单层石墨烯材料进行纵向集成,成功制备了
日盲紫外-近红外双色探测器。 在工作温度为室温、调制频率为209 Hz 以及工作电压分别为10 V和5 V 的工
作条件下,所制备的双色探测器在紫外波段263 nm处的响应度为5.9 mA/ W,在近红外波段1.15 μm处的响
应度为0.67 mA/ W,并且探测器的响应度均随着工作电压的增加而增大。
关 键 词:AlGaN;石墨烯;紫外-红外双色探测器
中图分类号:TN215;TN23 文献标识码:A DOI:10.3788/ fgx1167
AlGaN and Graphene Based UV-IR Dual-color Detectors
1,2 1 3* 4
LIU Yi-han ,CAO Wei ,LI Shao-juan ,LI Yang ,
4 2* 3 2
SUN Shi-chuang ,FU Kai ,CHEN Chang-qing ,ZHANG Bao-shun
(1. The College of Measurement and Control Technology and Communication Engineering,
Harbin University of Science and Technology,Harbin 150080,China;
2. SuzhouInstitute of Nano-tech and Nano-bionics,ChineseAcademy of Sciences,Suzhou215123,China;
3. FUNSOM CollaborativeInnovation Center of SuzhouNano Science and Technology,Soochow Universitys,Suzhou215123,China;
4. Wuhan NationalLaboratoryfor Optoelectronics,Huazhong University of Science and Technology,
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