中国石墨烯产业技术创新战略联盟标准透射电子显 - 中国石墨烯标准化.PDF

H04 Q 中国石墨烯产业技术创新战略联盟标准 Q/LM03CGS002-2014 透射电子显微学方法判定石墨烯层数 Identification of the Thickness of Graphene by Transmission Electron Microscopy 2015-01-29 发布 2015-01-29 实施 中国石墨烯产业技术创新战略联盟 发布 Q/LM03CGS002-2014 前 言 本标准按照GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则 第1 部分：标准的结构和编写》的规定编制。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构、备案机构不承担识别这些专利的责 任。 本标准由中国石墨烯产业技术创新战略联盟提出。 本标准主要起草单位：东南大学。 本标准参与起草单位：泰州石墨烯研究检测平台有限公司、FEI Company。 本标准主要起草人：孙立涛、徐涛、肖思群。 本标准参与起草人：周奕龙、沈昱婷、余开浩、倪振华、梁铮。 本标准于2015 年1 月首次发布。 I Q/LM03CGS002-2014 透射电子显微学方法判定石墨烯层数 1 范围 本标准规定了透射电子显微学方法判定石墨烯层数的方法、仪器、分析步骤、结果表示方法等。 本标准适用于石墨烯材料的生产、应用、检验、流通、科研等领域，作为统一技术用语的依据。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款，凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方面 研究使用这些文件的必威体育精装版版本，凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本适用于本标准。 Q/LM01CGS001-2013 石墨烯材料的名词术语与定义 3 术语和定义 Q/LM01CGS001-2013 确立的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 透射电子显微镜 透射电子显微镜是利用高能电子束充当照明光源的显微成像设备。电子枪发射的电子经加速及电 磁透镜汇聚形成高能电子束，电子束透过样品后经电磁透镜在图像记录系统上形成放大的图像或衍射 谱[1]。透射电子显微图像及电子衍射图谱能够直接反应样品的结构信息。 3.2 电子束辐照效应 被观测样品因与高能电子束相互作用而产生的现象。 3.3 转移能 电子束辐照过程中，电子传递给样品原子的能量。 3.4 位移阈能 电子束辐照导致样品原子离开原晶格位置转移到别的位置上所需要的最小能量。 3.5 电子衍射 电子波落到晶体上被晶体原子所散射，各散射电子波之间的产生的互相干涉现象。 3.6 石墨烯 （材料） 石墨烯 （材料）的定义详见中国石墨烯产业技术创新战略联盟标准Q/LM01CGS001-2013 。 4 符号和缩略语（可选） Q/LM01CGS001-2013 确立的以及下列符号和缩略语适用于本文件。 TEM：Transmission Electron Microscopy，透射电子显微镜，也简称为透射电镜 CVD ：Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积 PMMA ：Poly(methyl methacrylate) ，聚甲基丙烯酸甲酯 PDMS ：Polydimethylsiloxane ，聚二甲基硅氧烷 5 一