中研院物理所场发射穿透式电子显微镜(FEG-TEM)使用暨操作训练.DOC

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中研院物理所场发射穿透式电子显微镜(FEG-TEM)使用暨操作训练

交通大學奈米科技中心使用暨操作訓練課程公告電子束微影系統E-Beam Lithography System光罩對準曝光機Mask Alignment and Exposure System共焦顯微鏡(包含光譜儀+CCD) Confocal Microscope原子力顯微鏡Atomic Force Microscope三五族化合物半導體元件之電感耦合電漿蝕刻機ICP/RIE System for III-V Compound Semiconductor Device Fabrication 一. 訓練主旨:簡介奈米科技中心,提升各單位有意使用相關研究人員對儀器功能及其限制之基本認識,進而培養並建立其自行操作實驗結果之能力。 . 師資與訓練內容:第一階段為基礎課程,內容為分析基本原理 。電子束微影系統:應用科學研究中心.tw/faculty/Min-Hsiung-Shih.htm 共焦顯微鏡講師.tw/frame_faculty.htm 原子力顯微鏡.tw/%7Edslin/ 第二階段,為實驗室規則及儀器基本原理與功能講解,並介紹機台各種操作模式與可獲得之實驗結果。 . 訓練日期: 200年、、、日及、、每日9:00至12:00及14:00至17:00。 . 上課地點: . 參加對象:有意使用交通大學奈米科技中心之研究助理、研究生、等相關研究人員,報名酌收費用NT$500。請E-mail至cnst-adm@.tw 聯絡人:國立交通大學 奈米科技中心 劉翊筑小姐 聯絡電話:03-5712121#55632 (E-mail報名後請前行找課程聯絡人繳費) 詳情請瀏覽我們的網頁: ------------------------------------------------------------------------------------------------------- (附件)交通大學奈米科技中心訓練課程報名表(200年) 姓名 儀器課程名稱 E-BEAM ??DUV Confocal AFM ICP/RIE 指導教授 所屬單位 E-mail 聯絡電話 報名酌收費用NT$500。(E-mail報名後請自行找課程聯絡人繳費) 2. E-mail: cnst-adm@.tw。 (由於名額有限請參加者預約報名)聯絡人:TEL: 03-5712121 #55632

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