二氧化钒纳米孔洞薄膜的光学特性-IngentaConnect.PDF

第41 卷第12 期 赖新宇 等：在线化学气相沉积法制备雾度可控的SnO :F 薄膜 · 1685 · 2 第41 卷第12 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 41 ，No. 12 2 0 1 3 年 1 2 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY December ，2013 DOI ：10.7521/j.issn.0454-5648.2013.12.15 二氧化钒纳米孔洞薄膜的光学特性 1 1,2 1 1 1 1 1 1 梁 倩 ，李 毅 ，方宝英 ，严 梦 ，王 锋 ，覃 源 ，丁 杰 ，佟国香 ， 1,3 1 1 1 1 王晓华 ，陈少娟 ，陈建坤 ，郑鸿柱 ，袁文瑞 (1. 上海理工大学，上海 200093 ；2. 上海市现代光学系统重点实验室，上海 200093 ；3. 上海电力学院，上海 200090) 摘 要：为了进一步改善二氧化钒(VO )薄膜的光学特性，基于有效介质近似理论和VO 在不同温度和波长下的折射率和消光系数，建立了研究VO 2 2 2 纳米周期孔洞薄膜光学特性的数学模型。采用磁控溅射和氧化退火方法，先在石英衬底上制备 VO2 薄膜，再经多孔氧化铝掩膜和离子束刻蚀工艺， 制备了VO2 纳米孔洞薄膜。结果表明，随着孔隙率的增加，反射率最低点向短波长移动。与在石英衬底上制备的VO2 薄膜相比，VO2 纳米孔洞薄膜 的透过率明显优于VO2 薄膜，在红外区域透过率提高了20% ，具有较好的热致变色特性和应用潜力。 关键词：二氧化钒；薄膜；孔洞；有效介质理论；透过率 中图分类号：TB43 ；TN213 文献标志码：A 文章编号：0454–5648(2013)12–1685–07 网络出版时间：2013–11–29 13:42:00 网络出版地址：/kcms/detail/11.2310.TQ1342.201312.1685_015.html Optical Properties of Vanadium Dioxide Film with Nano-holes LIANG Qian 1 1,2 1 1 1 1 1 1 ，LI Yi ，FANG Baoying ，YAN Meng ，WANG Feng ，QIN Yuan ，DING Jie ，TONG Guo