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仪器型号:扫描电子显微镜EVO50EVO50是一台全面的、功能强大的高
仪器型号:扫描电子显微镜EVO50
EVO50是一台全面的、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计,提供高分辨率成像。并且具有业界领先的X射线分析条件,样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。
系统控制通过Windows? XP图形用户界面(GUI),提供简单强大的操作平台,SmartSEM扫描电镜控制和操作软件界面提供多用户环境,无论是专家级还是一般用户级,都能得到高质量的结果。
二 技术指标
Performance—性能 Spatial Resolution
空间分辨率 SE: 3.0 nm.
二次电子:3.0 nm@30kV
Acceleration Voltage
加速电压 范围: 200 V to 30 kV. 10V连续可调 Probe Current
电子束电流 范围: 0.5 pA to 5 (A. Magnification
放大倍数 范围: 5x to 1,000,000x. Field of View
视场 Diameter: 6 mm at the analytical working distance (AWD).6mm直径的大视野,在分析工作距离(AWD)下。
Large Field Mode: For fast navigation and large depth of field.大视场方式:为了快速引导和大的视场景深。
Adjustment: Continuously variable in either coarse or fine modes.
调整:在粗调或细调的方式连续可变。
Pre-sets: Selectable from a user definable table, plus a Low-Magnification facility which automatically selects the lowest available magnification for the operating conditions.
预置:可从用户可定义的表中选择,很容易增加一个低的放大倍数,自动选择对于操作条件最低可用的放大倍数。
Auto-Compensation: Magnification is precisely corrected automatically for changes in working distance or acceleration voltage.
自动补偿:对于工作距离或加速电压的改变,放大倍数自动校正。 X-ray Working Distance
X射线工作距离 可低至8.5 mm(业内最好) X-ray Analysis
X射线分析 EDS and parallel collection WDS with take-off angle of 35 degrees.
EDS和平行收集WDS,具有35度的出射角。 Electron Optics Electron Source
电子源 Filament: Standard pre-set tungsten hairpin filament
灯丝:标准预置钨发夹式灯丝
EHT Bias: Automatically adjusted, with acceleration voltage compensation.
EHT偏压:自动调整,具有加速电压补偿。
Alignment: Automatic or manual electromagnetic gun alignment.
对中:自动或手动电磁式电子枪对中。
Automatic Gun Run-up: Sets the gun conditions automatically to optimum conditions or pre set values.
自动电子枪启动:自动设置电子枪条件以优化条件或预置值。
Indicators: On-screen information to indicate filament replacement required and Help instructions for filament replacement and new filament conditioning.
指示:屏幕上信息包括必要的灯丝更换和对于灯丝更换和新灯丝调节的帮助指示。 Lens Control
透镜控制 Control: The lenses are electronically coupled through a new enhanced Optibeam algorithm for ease of operation.
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