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光刻伺服盘媒体微细加工技术-武汉理工大学学报
18 3 武 汉 工 业 大 学 学 报 Vol. 18 No. 3
1996 9 J OURNAL OF WUHAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY Sep . 1996
*
罗 敢 郑朝晖 张江陵 赫连娜 胡学骏
( )
: 阐述了光刻伺服盘媒体微细加工实验过程, 分析了刻蚀工艺中影响磁盘光刻图形的不 因素, 实践证明
用半导体微细加工技术光刻伺服盘, 能大幅度提高磁道密度, 增加磁盘驱动器的容量, 是一种先进的可行方法。
: 光刻伺服盘; 刻蚀工艺; 道密度; 微细加工
: 333. 43
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: 1995-10-17.
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1. . : , 1985
2. . , 1990, ( 3) : 1013
Media Microfabri cation Techno ogy of the Etched Servo Disk
L uo Gan Zheng Chaoh ui Zhang J iang ling H e L ianna H u X uej um
Abstract: In this paper we explored t he
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