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兰姆波型谐振器的制备与测试 - 压电与声光
第 卷第 期 压 电 与 声 光
３８ ３ Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．３
年 月
２０１６ ０６ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｊｕｎｅ２０１６
文章编号： （ ）
１００４２４７４２０１６０３０４０１０４
兰姆波型谐振器的制备与测试
邓言文，彭 斌，张万里，陈 鹏，王 睿，姜建英
（电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 ６１００５４）
摘 要：采用磁控溅射、光刻、腐蚀、电子束蒸发等工艺，在 薄膜表面设计和制备了兰姆波（ ）型谐振器。
ＡｌＮ Ｌａｍｂ
研究了 谐振器频率特性与频率 温度特性，并与传统的瑞利波（ ）型谐振器进行对比。测试结果表明，
Ｌａｍｂ Ｒａｌｅｉｈ
ｙ ｇ
谐振器的谐振频率为 ，温度灵敏度为 ／ ；而 谐振器有 个谐振频率，分别为
Ｒａｌｅｉｈ ３０５．１５ＭＨｚ １０．７４ｋＨｚ℃ Ｌａｍｂ ７
ｙ ｇ
， ， ， ， ， 和 ，其温度灵敏度分别为
２９４．６３０ＭＨｚ３９８．１２５ＭＨｚ４３５．６２５ＭＨｚ４８２ＭＨｚ５３１．６２５ＭＨｚ５７０ＭＨｚ ６１３．６２５ＭＨｚ
／ ， ／ ， ／ ， ／ ， ／ ， ／ 和 ／ 。结果表
１０．６３ｋＨｚ℃ １３．４６ｋＨｚ℃ １６．０９ｋＨｚ℃ １７．５１ｋＨｚ℃ １８．９５ｋＨｚ℃ ２０．７６ｋＨｚ℃ ２１．８６ｋＨｚ℃
明，兰姆波型谐振器高阶模式的温度灵敏度最高，达到 ／ 。
２１．８６ｋＨｚ℃
关键词：兰姆波型谐振器；谐振频率；温度特性； 薄膜
ＡｌＮ
中图分类号： 文献标识码：
ＴＮ６５ Ａ
犘狉犲犪狉犪狋犻狅狀犪狀犱犜犲狊狋犻狀 狅犳犔犪犿犫犠犪狏犲犚犲狊狅狀犪狋狅狉
狆 犵
， ， ， ， ，
犇犈犖犌犢犪狀狑犲狀 犘犈犖犌犅犻狀 犣犎犃犖犌犠犪狀犾犻犆犎犈犖犘犲狀 犠犃犖犌犚狌犻犑犐犃犖犌犑犻犪狀犻狀
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