几种纳米加工技术的原理、特点及其应用-上海交通大学.PDF

维普资讯 第4卷第3期 纳米加工工艺 Vo1．4 No．3 2007年6月 Nano—processingTechnique June 2007 几种纳米加工技术的原理、特点及其应用 赵保军， 王 英， 张亚非 (上海交通大学微纳米科学技术研究院，薄膜与微细技术教育部重点实验室， 微耗纳米加工技术国家级重点实验室， 上海 200030) 摘 要 ：从整体上介绍 了基于传统半导体加工的纳米加工技术 、探针直接书写式纳米加工技术、纳 米复制加工技术，以及这几种纳米加工技术的原理、特点及其应用。 关键词 ：纳米加工；掩膜；浸笔纳米印刷 ；微接触印刷 ；纳米压印 ThePrincipleandCharacteristicandApplicationof Nano-fabricationTechnology ZHA0Bao-iun． WANGYin． ZHANGYa—fei (ResearchInstituteofMicroNanometerScienceandTechnology，KeyLaboratoryforThinFilmand MicrofabricationTechnoloyg ofMinistry ofEducation，ShanghaiJiaotongUniversity， Shanghai 200030，China) Abstract：Theprinciple，characteristicandapplicationofnano-fabricationtechnologyincludingnano—fabricationbased ontraditionalsemiconductorfabrication，probedirectwritingtechnoloyg andnano～replicationareintmduced． Keywords：nano-fabricationtechnoloyg ；nano-mask；dip-pennanolithography；microcontactprinting；nanolithography 中图分类号：TN405 文献标识码 ：A 文章编号：1812—1918(2007)03—0o44—06 O 引言 寸不断缩小，从微米级到亚微米级，进而深入到分 子、原子级。这一方面对材料的性能参数和加工工 人类每一次加工和制造技术的发展 ，都带来 艺精度提出更高要求；另一方面也面临着 “一个极 工业和社会文明的进步，将加工精度从微米级提 限问题”，迫使人们去探索和认识微细加工的极 高到纳米级，使人类对 自然的认识和改造深入到 限，研究基本的曝光过程，寻找更短波长的可用光 了一个更新的层次。全球范围内正在为建立适应 源，积极探索未来下一代新的集成电路产品。应运 纳米尺度的新的集成方法和新的技术展开竞争， 而生的纳米加工技术的出现及发展 ，必将在微电 这些技术的突破将对信息产业和其它相关产业带 子学领域中引起巨大的技术开拓，传统的微电子 来一场深刻的革命，由此获得的经济价值将是难 学也必将发展到纳米电子学_lJ删。 以估量的。随着微 电子技术的发展和应用市场的 纳米级加工是将待加工器件表面的一个个原 开发，集成电路的集成密度越来越高，电路设计尺 子或分子作为直接的加工对象，因而，纳米级加工 的物理实质就是要切断原子或分子间的结合，实 收稿 日期 ：200