利用自组装单分子层与微奈米软微影技术应用於生物微流体晶片制程.PDF

行 利 奈流 精 類 行 年年 行 參理 易 理 祥 理 年 ■ 成 果報告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 利用自組裝單分子層與微奈米軟微影技術應用於生物 微流體晶片製程之研究 計畫類別 ：■個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號 ：NSC 95-2218-E-264-001- 執行期間 ：95 年12 月 1日至 96 年 8月 31日 計畫主持人 ：王明誠 計畫參與人員 ：成功大學材料科學與工程學系碩士班學生：謝易達 元培科技大學生物醫學工程系大學生：黃祥瑞 元培科技大學生物醫學工程系大學生：郭詩瑜 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交 )：■精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式 ：除產學合作研究計畫 、提升產業技術及人才培育研究計畫 、列 管計畫及下列情形者外 ，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位 ：元培科技大學 中 華 民 國 九 十 六 年 十 月 三 日 中文摘要 未來生物微流體晶片在醫藥領域、醫事檢驗領域 、環境科學領域乃至於國防軍事 偵防領域等 都將會是重要的發展方向， 。傳統的生物晶片微流道製程仍有製程昂貴 、 程序複雜 、不易快速大量生產與流道表面未能具備特殊生化功能性等缺點 。自組裝 單分子層之軟微影技術包括製程容易 、簡單快速 、可大量複製與具備化學表面修飾 等多項優點。本研究期望將自組裝單分子層之軟微影技術應用於生物微流體晶片中 的微流道製程 ，簡化製程 、可大量複製 ，並利用自組裝分子層具備表面化學修飾的 特性 ，達到可製作具備特殊生化功能性表面的生物微流體晶片的目的 。研究之重點 一方面在於利用PDMS 製作可轉印之彈性印章，將其置入含有自組裝分子之溶液中 (作為墨水) ，壓於鍍金的矽晶圓上 ，自組裝單分子層的硫端將與金原子作用而將圖 形轉印至金表面 ，再經由蝕刻或沉積( 的製程將圖樣轉印至基材表面) ，用以評估未 來實際應用於生物微流體晶片中微流道快速製程的可行性。另一方面 將在於利用自 組裝單分子層對低能電子束所造成的結構改變 ，作為微影技術之光阻特性 ；使用硫 基碳鏈結構之分子在不同基材上形成自組裝單分子層並分別尋找其適當之有效電子 束反應劑量 ，以達到最經濟的製程效率。 關鍵詞 ：生物微流體晶片、微流道 、自組裝分子層 、軟微影製程技術 。 Abstract Tomorrow’s microfluidic biochip will be a important development direction in the field of med