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可变型束电子束曝光机机台编号
文件編號 S3-NL05
DOCUMENT NO.
總 頁 數
共 14 頁
TOTAL PAGE
文件名稱
儀器設備作業標準 (CF-L19可變型束電子束曝光機 )
TITLE
機台名稱： 可變型束電子束曝光機
機台編號： CF-L 19
制訂部門： 奈米元件廠
制訂日期： 20 12/ 10/0 1
文件 制修 訂 記 錄
NO
發行日期 修訂申請書編號 制修訂內容 修訂頁次 版本
01 20 12/ 10/0 1 制定初版 1.0
02 2013/07/01 102-DC09 修改表首 logo及制訂部門名稱 ALL 2.0
修改
03
04
05
06
07
08
核 准 審 查 制 訂
DOCUMENT NO. ： TITLE ：
儀器設備作業標準
S3-NL05
(CF-L19可變型束電子束曝光機 )
ISSUE DATE 2013/07/01 REVISION 2.0 PAGE 第 1 / 13頁
一、目 的：
定義可變型束電子束曝光機操作規範，以確保操作品質。
二、範 圍：
適用於可變型束電子束曝光機 。
三、權 責：
1. 組織權責：工程師負責制定及修改規範。
2. 執行人員資格：經過可變型束電子束曝光機考核通過之人員。
四、名詞定義：
無。
五、相關文件：
VISTEC SB350 OPERATOR MANUAL
六、標準作業程序：
1.檢查機台運轉告示牌是否為運轉中，如圖 1 ，並翻閱使用紀錄表查看機台狀態是否正常。
若有異常請勿操作 機台 ，若為正常則可操作機台 ，並填寫使用紀錄表。
圖 1
DOCUMENT NO. ： TITLE ：
儀器設備作業標準
S3-NL05
(CF-L19可變型束電子束曝光機 )
ISSUE DATE 201
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