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场发射透射电子显微镜(TEM)
场发射透射电子显微镜 (TEM )
仪器基本信息
仪器中文名 场发射透射电子显微镜
仪器英文名 Field emission transmission electron microscope
仪器型号 JEM-3200FS
生产厂家 日本电子(JEOL)
工作状态 正常
主要技术指标
分辨率 点分辨率:0.19nm;线分辨率:0.10nm;能量分辨率:0.9eV
放大倍数 2,500~1,500,000
电子枪 肖特基场发射电子枪
加速电压 100/200/300kV
束斑尺寸 TEM 模式:2~5 nm Φ;EDS 、NBD 、CBD 模式:0.4~1.6 nm Φ
其他 聚焦长度:3.0 mm;最小聚焦步长:1.4nm;最大会聚角:±10º;球差系数:1.1 mm;色
差系数:1.8 mm;选区衍射相机常数:200~2,000 mm
主要配置与附件
相机 型号:Gatan 994 Ultriscan ; 像素:2048 ×2048
样品杆 超倾样品杆 (±80°倾转);单倾样品杆;原位加热单倾样品杆 (RT~1300℃);原位加
电样品杆 (0~5 V );原位拉伸单倾样品杆;真空转移杆
其他 电子能量损失谱及能量过滤成像系统;高角环形暗场探测器 (HAADF) ;明、暗场探测器;
扫描透射系统(STEM) ;NORAN System 7 X-射线能谱仪 (EDS)
功能用途及样品要求
功能及特点 主要用于分析金属、半导体、陶瓷、高分子、纳米材料的内部显微结构,可结合能量过滤
系统/X-射线能谱对材料进行微区成分分析;提供微米直到原子尺度的形貌、晶体结构、化
学成分、界面及晶体缺陷等方面的信息,广泛应用于化学、物理学、材料科学、地质学、
生物学、医学、高分子、环境科学等领域。
测样要求 几十纳米以下的薄层样品或者粉末,耐电子束辐照,没有磁性、放射性、毒性和挥发性。
联系方式
仪器安放地点 深圳大学城北大园区B 栋110
仪器负责人 付少杰
联系电话 158 1869 1906
Email fusj@pkusz.edu.cn
仪器预约与收费标准
预约说明 接受校内预约,校外预约请直接联系仪器负责人
收费说明 见价目表
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