基于声表面波形状记忆合金微阀研究-压电与声光.PDF

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2017-06-25 发布于天津
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基于声表面波形状记忆合金微阀研究-压电与声光

第卷第期压电与声光年月文章编号基于声表面波形状记忆合金微阀研究李向莉钱显毅苏州信息职业技术学院通信与信息工程系江苏苏州常州工学院电气与光电子工程学院江苏常州摘要研制了一种声表面波控制的形状记忆合金微阀在基片上光刻叉指换能器其激发的声表面波加热压电基片上石蜡油使弯曲的形状记忆合金线伸展促使与其连接的聚二甲基硅氧烷微通道壁发生形变截止微通道实现微阀从开态向关态转变撤除电信号形状记忆合金线温度下降恢复软性在硬质塑料薄片的恢复力作用下微阀重新由关态转为开态以流体输运为实验对象进行微阀开关实验结果表明声表面波可有效控制形状记忆合金微阀的开关操作在电信号功率作用下微阀关闭时间为关键词微阀形状记忆合金声表面波微通道微流器件中图分类号文献标识码