微通道散热器长直微通道的新加工工艺研究.PDF

28 9 Vol． 28 No． 9 第 卷 第 期 吉 林 化 工 学 院 学 报 20 11 9 JOURNAL OF JILIN INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY Sep． 20 11 年 月 文章编号:1007-2853 (2011)09-0061-04 微通道散热器长直微通道的新加工工艺研究 1 1 2 3 4 1 4 ， ， ， ， ， ， 杨凯钧 左春柽 丁发喜 王克军 吕海武 曹倩倩 王吉顺 (1． ， 132025 ;2 ． ， 132022 ;3 ． 吉林大学机械科学与工程学院 吉林长春 中油吉林石化公司电石厂 吉林吉林 中国科学院 ， 130025 ;4 ． ， 132022) 长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春 中油吉林石化公司仪表有限责任公司 吉林吉林 : ， ． ， 摘要 微通道散热器的加工是微通道散热器的核心问题之一 越来越受到广泛的关注 目前 研究人员 1 000 ～ 5 000 um 、 5 ～ 500 um ， ， 在加工长度 宽度 范围内 可以达到加工的要求 而长度大于此范围的加工工 ． ， ， 、 、 艺实现比较困难 针对此问题 本文采用数控电火花线切割方法 通过研究线电极补偿 脉宽 脉冲间隔 ， 等主要加工参数对微通道成型尺寸的影响 通过实验对比分析确定合理的加工参数以及稳定的加工条 ． ， 94 000 um ， 0 ． 77 um ， 28 us ， 9 us 件 结果表明 加工长度为 的微通道 在线电极参数为 脉冲宽度为 间隔为 ， 250 ～ 280 um ． 的前提下 所得到的微通道的宽度在 范围内 : ; ; 关 键 词 电火花线切割 微通道散热器 聚光太阳能电池 中图分类号:TH 161 文献标志码:A ， ， ． 微通道散热器具有传热系数高 压降低 功率 工微通散热器的基底 电火花切割采用 小等特点，已经作为一种新颖散热结构应用于聚 (DK7740B)将用于腐蚀微通道散热器的微通道． ［1-3］ ． : 1． 2 光太阳能电池中 微通道的加工技术包括 刻 加工材料 ， ， ， 蚀技术 准分子激光技术 微超声加工技术 微电 加工材料将要分为电极材料和散热器材料