成功大学微奈米科技研究中心奈米微影制程课程.PDF

成功大學微奈米科技研究中心 奈米微影製程課程 【課程概要】： 元件製造是一種將光學、電學、材料學、物理學…等理念實現的過程，在這過程中 ，不管是新 創的概念或是承襲文獻的製程 ，往往遭遇許多製程上的困難，因為製程是一門講求訣竅(know-how) 的學問，除了基礎知識之外更需要經驗的累積；本中心的製程工程師團隊具有多年之元件製造經驗， 已開發各種製程間之整合，將各製程設備進行點、線、面的串聯，進行各式之元件製造。 本課程將示範教授混搭(Mix-and-Match)製程，亦即整合多種製程技術，包含傳統光學曝光、 先進電子束微影製程與電漿蝕刻製程，並將納入金屬導線製作與晶圓切割的製程技術，進一步整合 到微米甚至更大尺寸的元件或系統 ，課程包含關鍵的奈米與微米製程整合製程，可兼顧大面積圖案 與奈米尺度之特徵尺寸 。 【主辦單位】：國立成功大學微奈米科技研究中心 【招收對象/ 人數】：研究生、工程師、專題生/20 人 【上課日期】：2015 年 2 月 9 ~ 10 日，星期一～二 2 月 9 日，星期一 時 間 上課內容 上課地點 授課人 先進奈米微影製程 成大（南）自強校區 9:00-12:00 鍾崇仁博士 The State-of-the-art Nano Lithography 科技大樓4F 電路晶片(Chip)與對準標記(Alignment 成大（北）自強校區 涂琇真工程師 、 13:30-16:30 Mark)製作 儀器設備大樓 B1 吳佳翰工程師 (UV 曝光與電子束蒸鍍) 2 月 10 日，星期二 奈米尺度對準 、微影與蝕刻 成大（北）自強校區 楊穎枚工程師 、 9:00-12:00 (電子束微影與電漿蝕刻) 儀器設備大樓 B1 黃秋華工程師 13:30-16:30 元件切割與製程結果分析 成大（北）自強校區 董簪華工程師 、 (晶圓切割機、電子束微影) 儀器設備大樓 B1 楊穎枚工程師 16:30-17:30 討論與建議 鍾崇仁博士 歡迎踴躍報名！  報名網址：.tw/  報名截止日期：2015 年 2 月 2 日，星期一  學費/繳費方式：每人 3,000 元，如同一單位2 人報名費用9 折(5,400 元) ，3 人報名費用 8 折 (7,200 元) ，報到時現場繳費 。  注意事項： 1. 本課程研修完畢將發予證書。 2. 人數不足 8 人停開。 3. 若遇天候因素，如颱風，且行政院人事行政總處公告停班停課者，則當次課程取消。  聯絡方式：林丹琪 專員 電話：06-2757575 轉 31380 轉202 傳真：06-2080103 Email: walin@.tw