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扫描式电子显微镜原理与应用
掃描式電子顯微鏡原理與應用
大綱
• 電子顯微鏡介紹
• 電子束形成的方式
• 穿透式電子顯微鏡與其應用
• 掃描式電子顯微鏡與其應用
電子顯微鏡介紹
Resolution Sample Sample
Instrument Magnification
[µm] environment thickness
Eye 1 200 Air Thick
Magnifying
2-10 15-100 Air Thick
glass
Optical
200-1300 0.2 Air or Oil Thick
microscope
SEM 10-105 0.01 Vacuum Thick
3 6
TEM 10 -1.5X10 0.00014 Vacuum thin
電子束產生方式
Filament Current Flashing Voltage
Control
Filament
V1 (～ 6.5kV)
Wehnelt Bias Voltage
Control
1st Anode
Anode 2nd Anode
V0 V0
Electron Beam
Electron Beam
Thermionic Emission Cold Field Emission
Thermionic Emission Cold Field Emission
V0 :Accelerating voltage
V1: Extraction voltage
Electron Gun: Thermionic (Hot) Emission
J T AT 2 exp =−φ kT
( ) ( )
Electron Gun: Field (Cold) Emission
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J
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