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显微镜(TEM)透射电子
透射电子显微镜(TEM)
葛航笠
3110102898@zju.edu.cn
光学透镜显微镜的分辨本领:
0.61
nsinu
Thanks to Louis Victor de Broglie
人类认知领域得以拓宽的突破性的成就!
&Ernst August Friedrich Ruska
加速电压V (kv) 电子的德布罗意波长(nm)
100 0.00370
200 0.00251
300 0.00197
1000 0.00087
h-普朗克常数,m0-电子的静质量,E-加速后电子的能量
第一部实际工作的TEM 全球分辨率最高的商业化透射电镜,
分辨率可达0.08nm
TEM结构示意图(英文版)
Fig.1 An Introduction To electron microscopy.FEI.ISBN 987-0-578-06276-1.2010.P4
TEM结构示意图(中文版)
照明系统
成像系统
观察和记录系统
Fig.2 吴晓京.透射电子显微镜.上海计量测试,2002,29(3).
照明系统
电子枪(钨丝枪、六硼化镧枪、场发射)
聚光镜(磁透镜)
电子束平移对中装置
倾斜调节装置
等
Fig.3 An Introduction To electron microscopy.FEI.ISBN 987-0-578-06276-1.2010.P11
照明系统
电子枪(钨丝枪、六硼化镧枪、场发射)
聚光镜(磁透镜)
电子束平移对中装置
倾斜调节装置
等
Fig.4 An Introduction To electron microscopy.FEI.ISBN 987-0-578-06276-1.2010.P12
样品室
样品(非常薄,约100~200nm )
薄铜网承载台
透射电镜是把经加速和聚集的电子束投射到
非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞
而改变方向,从而产生立体角散射的透射电
子。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,
因此可以形成明暗不同的影像。
Fig.5 来自维基百科
成像系统(三级透镜)
物镜
焦将
放透
大射
中间镜 成 电
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