AFM原理与应用.ppt

原子力显微镜Atomic Force Microscope;目 录;显微镜的发展历史;光学显微镜;透射电子显微镜（TEM）;扫描电子显微镜（SEM）;扫描隧道显微镜（STM）;原子力显微镜（AFM）;AFM的原理;隧道效应;STM的结构与工作过程;AFM的基本原理;AFM工作过程;隧道电流法： 是基于STM原理实现的。可将微悬梁看成样品，在微悬梁上还有一微小探针接触。微悬梁和探针间施、加一偏置电压，他们之间便产生了隧道电流。当微悬梁因为和样品间的原子间力的作用而位置发生改变，那么他和探针之间的位置也发生相应的变化，导致隧道电流发生指数级的变化，那么测量原理就变成了STM的测量原理了。 激光检测法 二极管激光器发出的激光束经过光学系统聚焦在微悬臂背面，并从微悬臂背面反射到由光电二极管构成的光斑位置检测器。在样品扫描时，由于样品表面的原子与微悬臂探针尖端的原子间的相???作用力，微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起伏，反射光束也将随之偏移，因而，通过光电二极管检测光斑位置的变化，就能获得被测样品表面形貌的信息。目前的AFM都是采用这种检测模式。  ;AFM的硬件结构;AFM的几种工作模式;AFM的应用;沉积于云母片上的抗体分子的 AFM成像;纳米加工： 利用AFM可以对样品进行表面原子搬运，原子蚀刻，从而制造纳米器件。;The End