第一章.应用多模式组合加工技术修正大口径非球面环带误差.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ ７ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．７ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ ７ Ｊｕｌ．２０１０ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１００７１４６００８ 　 应用多模式组合加工技术修正 大口径非球面环带误差 ， ， ， ， １２ １ １ １ １２ １２ １２ 李俊峰 ，谢京江 ，宋淑梅 ，陈 亚 ，宣 斌 ，王 朋 ，陈晓苹 　 　 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术重点实验室，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００３９） 摘要：为了满足大口径非球面光学元件加工的需求，提出了用多模式组合加工（ ）技术修正大口径非球面反射镜环 ＭＣＭ 带误差的方法。本文讨论的ＭＣＭ技术以经典加工工艺为基础，采用抛光盘的多工位加工和抛光模式的组合完成光学 元件的抛光，实现对光学表面中低频段误差的有效控制。介绍了 ＭＣＭ技术的重要组成部分 ＪＰ０１抛光机械手的工作 原理，分析了ＭＣＭ的工作模式。采用 ＭＣＭ技术对Φ１２３０ｍｍ的非球面反射镜进行环带误差的修正，给出了镜面面形 检测结果。实验结果表明， 技术可以有效地控制光学表面的中低频误差，使光学表面误差得到有效收敛，从而显 ＭＣＭ 著提高抛光效率。目前，采用 技术加工 口径的同轴非球面，其精度可以达到 （ ）。 ＭＣＭ １ ２ｍ ３０ｎｍ ＲＭＳ ～ 关 键 词：大口径光学元件；环带误差；多模式组合加工；机械手 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＨ７４３ＴＱ１７１．６８４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１４６０ 　　 　　 犣狅狀犪犾犲狉狉狅狉狉犲犿狅狏犪犾犳狅狉犾犪狉犲犪狊犺犲狉犻犮狑犻狋犺 犵 狆 犿狌犾狋犻犿狅犱犲犮狅犿犫犻狀犲犱犿犪狀狌犳犪犮狋狌狉犲狋犲犮犺狀犻狌犲