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板式PECVD微波电源报警信息原因分析及现场处理方法 谢善文 2011.03.10 微波源主供电错误 微波源低压错误 微波电源最大电压错误 微波电源信息错误 微波电源ARC错误 微波电源冷却错误 微波电源反射功率过高 Thank you * 复位CAN总线模块状态 CAN总线模块错误（图3） 更换微波头 微波头电源线断路（图2） IJBT模块损坏 微波源X4电源输出线断路(图1） 微波源变压器损坏 微波源电路板电子元器件损坏 更换微波源 微波源整流桥损坏 现场处理方法 原因分析 检查接线 微波电源X4高压输出至微波头高压（磁控管接线端）输入故障 检查主电源电路 微波电源主电源断路或缺相（见图） 更换微波源 微波源内24V开关电源损坏 现场处理方法 原因分析 更换微波头(图2） 微波头内磁控管损坏 现场处理方法 原因分析 复位CAN总线模块状态或更换CAN总线模块 CAN总线模块错误 现场处理方法 原因分析 微波头电源线断路与外屏蔽线短路 检查X4电源输出线与微波头电源线处，重新接线 微波源X4电源输出线与外屏蔽线短路 现场处理方法 原因分析 重新接线 微波电源或微波头冷接线错误 更换冷却风扇 微波电源或微波头冷却风扇损坏 检查工艺冷却水状态（14，15，16，17） 冷却水流量或温度低于报警极限 现场处理方法 原因分析 更换微波铜管 微波铜管弯曲 重新安装 微波铜管从四氟盘中间脱落 检查微波天线位置 微波天线与微波铜管接触不好 现场处理方法 原因分析 *
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