光电反馈式静电悬浮与静电悬浮力测定.PDF

下载文档

3
0
约9.9千字
约 4页
2017-06-27 发布于天津
举报
版权申诉
保障服务

光电反馈式静电悬浮与静电悬浮力测定.PDF

1、本文档共4页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

光电反馈式静电悬浮与静电悬浮力测定

28 8 光子学报 V o 1. 28 N o . 8 1999 8 A CT A P HOT ON ICA SINI CA A ugu st 1999 * 吴　兰　黄　峰 ( , 310027) 本文提出光电反馈式电悬浮的新方法, 简要讨论电悬浮的原理、装置及其光电反馈控制过程. 采用铝片和CD 光盘作为悬浮体, 测定了不同电电压和不同悬浮间距时的电悬浮力, 揭示了它们之间的相互关系. 结果显示这两种悬浮体均可获得足够的电悬浮力, 证明了电悬浮的可行性. 电悬浮方法的显著特点是既适用于导电体与非导电体的悬浮, 又适用于磁性体与非磁性体的悬浮, 克服了传统磁悬浮技术仅适用于磁性体的局限性, 可广泛应用于精密元器件的悬浮与非接触无损操作. 光电反馈电悬浮电力 0 , , - ( Wafer) L CD CD , . 1 , , . 1 , . . 1, 2 , . 3 , 1997 550km . , , , , . 1 , Fig . 1Basic concept o f electr ostatic su sp en sion b ased on . , o ptoeletr onic f eedb ack 4 . , , , . , . , * 　国家自然科学基金资助项目( 收稿日期: 1999—04—19 8 . 693 , , . , , . , . , , . , . , 2 , Fig . 2 Schem atic diag ram o f t he ex per im ental equ ipm ent , f o r m easur ing electr ostatic f o rces , , , , , , . , , , . , - -( P ID) , ,